Ο καθαρισμός γκοφρέτας αναφέρεται στη διαδικασία χρήσης χημικών ή φυσικών μεθόδων για την απομάκρυνση ρύπων και οξειδίων από την επιφάνεια μιας γκοφρέτας κατά την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, προκειμένου να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις καθαριότητας της επιφάνειας του πλακιδίου. Η αρχή του καθαρισμού της γκοφρέτας είναι να αφαιρεί διάφορες ακαθαρσίες χωρίς να καταστρέφει τη γκοφρέτα.
Υπάρχουν τέσσερις κύριοι μηχανισμοί για την απομάκρυνση των σωματιδίων: διάλυση, οξειδωτική αποσύνθεση, ηλεκτρική απώθηση μεταξύ σωματιδίων και επιφανειών πλακιδίων πυριτίου και ελαφρά διάβρωση των επιφανειών πλακιδίων πυριτίου.
Για την αφαίρεση μεταλλικών σωματιδίων, χρησιμοποιείται συνήθως διάλυμα SC-2 ή διάλυμα HPM για τη μείωση της περιεκτικότητας σε μέταλλο στην επιφάνεια του πλακιδίου. Το διάλυμα SC-2 υφίσταται κρυστάλλωση, η οποία μπορεί να αυξήσει τον αριθμό των σωματιδίων στην επιφάνεια του πλακιδίου μετά τον καθαρισμό. Επομένως, το HF μπορεί να χρησιμοποιηθεί αντί για HCL ή το O3 σε συνδυασμό με το HF μπορεί να χρησιμοποιηθεί αντί για το διάλυμα SC-2 για την αποτελεσματική αφαίρεση μεταλλικών σωματιδίων.
Για τους οργανικούς ρύπους, χρησιμοποιείται συνήθως για την αφαίρεση του διαλύματος SPM ή της τεχνολογίας στεγνού καθαρισμού UV/όζοντος.
Μετά τον υγρό καθαρισμό, η γκοφρέτα πρέπει να στεγνώσει καλά για να διασφαλιστεί ότι δεν υπάρχουν σημάδια νερού στην επιφάνεια πριν ξεκινήσετε την επόμενη διαδικασία. Οι τρεις πιο συνηθισμένοι τρόποι ξήρανσης που διατίθενται επί του παρόντος είναι η περιστροφική ξήρανση, η ξήρανση Marangoni και η ξήρανση με ψεκασμό με θερμή ισοπροπανόλη.
