Ο επαγγελματίας σας προμηθευτής εξοπλισμού μέτρησης και ανάλυσης
Η Nice-tech είναι επαγγελματίας πάροχος εξοπλισμού ημιαγωγών με αποκλειστικό εργοστάσιο και έμπειρη τεχνική ομάδα. Οι δραστηριότητές μας υποστηρίζονται από πολλαπλές γραμμές παραγωγής εξοπλισμένες με τυποποιημένο έλεγχο διεργασιών και βασικό εξοπλισμό που σχετίζεται με-ημιαγωγούς για τη διασφάλιση σταθερής ποιότητας και παράδοσης. Η εταιρεία υποστηρίζεται από μια εξειδικευμένη ομάδα μηχανικών, τεχνικών και ειδικών έργων με ισχυρή εμπειρία στον κλάδο, επιτρέποντας τον αποτελεσματικό συντονισμό μεταξύ προμηθευτών εξοπλισμού και τελικών χρηστών.
-
![Σύστημα VPD]()
Σύστημα VPDΤο σύστημα VPD της Nice-Tech αποτελεί βασικό εργαλείο επιθεώρησης για τον έλεγχο μόλυνσης ιχνών μετάλλων ημιαγωγών—που έχει σχεδιαστεί ειδικά για να αυξάνει την ευαισθησία ανίχνευσης για προηγμένη κατασκευή IC.Δείτε περισσότερα
γιατί να μας επιλέξετε
Προσαρμοσμένη παράδοση λύσεων
Η έμπειρη ομάδα μας αναλύει τις συγκεκριμένες ανάγκες των πελατών για να ταιριάζει με τον καταλληλότερο εξοπλισμό ημιαγωγών και προσφέρει προσαρμοσμένες λύσεις για διαφορετικά σενάρια παραγωγής και Ε&Α.
Ολοκληρωμένη Τεχνική Υποστήριξη
Παρέχουμε πλήρη-κυκλική τεχνική βοήθεια, από τη θέση σε λειτουργία του εξοπλισμού έως τη συντήρηση, συμπεριλαμβανομένης της-αντιμετώπισης προβλημάτων στον ιστότοπο και της διαδικτυακής διαβούλευσης σε πραγματικό-χρόνο, μειώνοντας τις λειτουργικές ταλαιπωρίες.
Υποστήριξη για προηγμένες διαδικασίες
Επενδύουμε συνεχώς σε γνώσεις του κλάδου και προσαρμοζόμαστε στις τάσεις αιχμής-της τεχνολογίας, προσφέροντας-λύσεις εξοπλισμού υψηλής ακρίβειας και υπηρεσίες αναβάθμισης για την κάλυψη-των αναγκών παραγωγής τσιπ υψηλών-τερμάτων.
Πλεονεκτήματα εξυπηρέτησης
Προσφέρετε ηλεκτρονική υποστήριξη 1v1 για λειτουργία εξοπλισμού, προσαρμογή παραμέτρων και βελτιστοποίηση διαδικασίας, απαντώντας άμεσα στις ερωτήσεις σας.
Το σύστημα VPD (Vapor Phase Decomposition) είναι ένα βασικό εργαλείο ανίχνευσης για τον έλεγχο της μόλυνσης από ίχνη μετάλλων στην κατασκευή ημιαγωγών. Χρησιμοποιεί έναν συνδυασμό αποσύνθεσης χημικής φάσης ατμού και φασματομετρίας μάζας υψηλής-ευαισθησίας για την επίτευξη ακριβούς ανίχνευσης και παρακολούθησης υπερ-μόλυνσης μετάλλων σε επιφάνειες πλακιδίων.
|
Κατηγορία |
Σύστημα VPD |
|
Συμβατότητα με γκοφρέτα |
8 ιντσών, 12 ιντσών (εγγενής). 6 ιντσών (προαιρετικό, μέσω ειδικών δίσκων) |
|
Όριο ανίχνευσης (με ICP-MS/MS) |
105-108 άτομα/cm2; καλύπτει στοιχεία 7Li έως 238U |
|
Ροή εργασίας διαδικασίας |
Αποσύνθεση φάσης ατμού → Σάρωση σταγονιδίων ακριβείας → Συλλογή ρύπων |
|
Πλήρης-Χρόνος Επεξεργασίας Γκοφρέτας |
Λιγότερο ή ίσο με 60 δευτερόλεπτα (ακτινικό ακροφύσιο γρήγορης σάρωσης-) |
|
Τρόποι δειγματοληψίας |
Πλήρης-γκοφρέτα, ζωνική, δακτυλιοειδής. υποστηρίζει τη συλλογή περιοχών ακμών/λοξοτομής |
|
Μέσο αποσύνθεσης |
Υψηλής-καθαρότητας ατμοί HF (ελεγχόμενη συγκέντρωση και ρυθμός ροής) |
|
Συμβατά εργαλεία ανάλυσης |
ICP-MS, ICP-MS/MS, TXRF |
|
Πρωτόκολλο αυτοματισμού |
Υποστηρίζει SECS-GEM. μπορεί να ενσωματωθεί σε αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής ημιαγωγών |
|
Συμμόρφωση του κλάδου |
Συμβατό με τα πρότυπα SEMI |
|
Εφαρμοστέοι τύποι γκοφρέτας |
Γκοφρέτες γυμνές, γκοφρέτες με σχέδια, γκοφρέτες παχύρρευστου στρώματος οξειδίου, γκοφρέτες με νέο υλικό |
Εξαιρετικά-χαμηλό όριο ανίχνευσης:
Δυνατότητα ανίχνευσης συγκεντρώσεων μόλυνσης μετάλλων τόσο χαμηλές όσο 1 × 108 άτομα/cm² (που ισοδυναμεί με τον ακριβή εντοπισμό ενός κόκκου άμμου σε μια τυπική πισίνα), με ευαισθησία 1-2 τάξεις μεγέθους υψηλότερη από τις παραδοσιακές μεθόδους (όπως το TXRF).
Ολοκληρωμένη στοιχειακή κάλυψη:
Υποστηρίζει ταυτόχρονη ανάλυση περισσότερων από 70 στοιχείων από λίθιο (Li) έως ουράνιο (U), καλύπτοντας βασικούς ρυπαντές που προκαλούν ανησυχία στη βιομηχανία ημιαγωγών.
Μη-μη καταστροφική δοκιμή:
Αποτρέπει τη μόλυνση που προκαλείται από τη μηχανική άλεση μέσω χημικής χάραξης ατμού, διασφαλίζοντας την ακρίβεια των αποτελεσμάτων των δοκιμών.
Ευέλικτη δειγματοληψία:
Υποστηρίζει μεθόδους δειγματοληψίας με μοτίβα, όπως πλήρη σάρωση, περιφερειακή σάρωση και δακτυλιοειδή σάρωση, προσαρμοζόμενη σε διαφορετικές απαιτήσεις διαδικασίας.
Ισχυρή ικανότητα κατά των-παρεμβολών:
Η τεχνολογία κυψελών αντίδρασης σύγκρουσης (CRC) ICP-MS/MS εξαλείφει τις παρεμβολές φασματομετρίας μάζας, διακρίνοντας με ακρίβεια τα ισότοπα με τον ίδιο αριθμό μάζας (π.χ. 52Cr και 40Ar12C).
Εφαρμογές συστήματος VPD
Επιθεώρηση πρώτων υλών:
Δοκιμή της περιεκτικότητας σε μεταλλικές ακαθαρσίες των πλακών πυριτίου κατά την άφιξη για να διασφαλιστεί η καθαρότητα των βασικών υλικών.
Μπροστινή-Παρακολούθηση διαδικασίας:
Παρακολούθηση του επιπέδου μόλυνσης μετάλλων στην επιφάνεια του πλακιδίου μετά από διεργασίες όπως η οξείδωση, η διάχυση και η χάραξη για την πρόληψη της εξάπλωσης της μόλυνσης.
Ανάλυση εμφύτευσης ιόντων:
Αξιολόγηση των ακαθαρσιών μετάλλων που εισάγονται κατά τη διαδικασία εμφύτευσης ιόντων και βελτιστοποίηση της ομοιομορφίας του ντόπινγκ.
Δοκιμή τελικού προϊόντος:
Πραγματοποίηση ανάλυσης μόλυνσης μετάλλων στο τελικό προϊόν για να διασφαλιστεί η απόδοση και η αξιοπιστία.
Τεχνολογία συστήματος VPD
Αποσύνθεση ατμού-φάσης:
Η γκοφρέτα τοποθετείται σε περιβάλλον ατμού HF για να αποσυντεθεί το επιφανειακό στρώμα οξειδίου (όπως SiO2), εκθέτοντας και εναποθέτοντας μεταλλικούς ρύπους (όπως Fe, Cu, Na, κ.λπ.) στην επιφάνεια του πλακιδίου.
Σάρωση σταγονιδίων:
Ένας μικρός όγκος υγρού σάρωσης (όπως ένα αραιό διάλυμα οξέος) τυλίγεται κατά μήκος της επιφάνειας του πλακιδίου για τη συλλογή των διαλυμένων μεταλλικών ρύπων, σχηματίζοντας ένα εμπλουτισμένο διάλυμα.
Ανάλυση φασματομετρίας μάζας:
Το εμπλουτισμένο διάλυμα μεταφέρεται σε ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer) ή ICP-MS/MS (Tandem Mass Spectrometer) για ποσοτική ανάλυση υπερ-ιχνοστοιχείων μετάλλων.
Έλεγχος Λειτουργικού Περιβάλλοντος Συστήματος VPD
Απαιτήσεις τάξης Cleanroom:Το σύστημα VPD-ICP-MS απαιτεί ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον, που συνήθως λειτουργεί σε εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον κλάσης 100 ή τοπικής κλάσης 10. Εάν η περιβαλλοντική καθαριότητα είναι ανεπαρκής (π.χ. Class 1000 ή Class 10000 cleanroom), τα αποτελέσματα των δοκιμών επηρεάζονται εύκολα από σωματίδια ελαφρού μετάλλου όπως νάτριο, μαγνήσιο και ασβέστιο στον αέρα, οδηγώντας σε αυξημένες τιμές φόντου και υποβαθμισμένα όρια ανίχνευσης.
Διαχείριση θερμοκρασίας και υγρασίας:Το περιβάλλον λειτουργίας πρέπει να διατηρεί σταθερή θερμοκρασία (22±2 βαθμοί ) και υγρασία (45%±5% RH) για να αποτρέψει την προσρόφηση υγρασίας ή σωματιδίων στην επιφάνεια του πλακιδίου, επηρεάζοντας την απόδοση αποσύνθεσης αέριας-φάσης. Για παράδειγμα, η υψηλή υγρασία μπορεί να οδηγήσει σε ανομοιόμορφη συμπύκνωση των ατμών HF, με αποτέλεσμα την ατελή αποσύνθεση του στρώματος οξειδίου.
Δείγμα Προ{0}}προδιαγραφών επεξεργασίας του συστήματος VPD
Καθαρισμός γκοφρέτας και προ{0}}επεξεργασία:
Οι γκοφρέτες πρέπει να υποβάλλονται σε τυπικές διαδικασίες καθαρισμού SC1 (αμμωνία + υπεροξείδιο του υδρογόνου + υπερκαθαρό νερό) και SC2 (υδροχλωρικό οξύ + υπεροξείδιο του υδρογόνου + υπερκαθαρό νερό) για την απομάκρυνση της επιφανειακής οργανικής ύλης και των μεταλλικών σωματιδίων.
Μετά τον καθαρισμό, οι γκοφρέτες πρέπει να ξεπλυθούν τρεις φορές με υπερκαθαρό νερό, να στεγνώσουν αμέσως με πιστόλι αζώτου και στη συνέχεια να μεταφερθούν στον θάλαμο VPD για να αποφευχθεί η δευτερογενής μόλυνση.
Βασικά σημεία λειτουργίας θαλάμου VPD:
Χρόνος έκθεσης σε ατμούς HF:Αυτό πρέπει να ρυθμιστεί ανάλογα με το πάχος του στρώματος οξειδίου του πλακιδίου (π.χ., το στρώμα φυσικού οξειδίου είναι περίπου 0,25 nm, το στρώμα θερμικού οξειδίου μπορεί να φτάσει τα 100 nm), συνήθως 5-15 λεπτά. Ο ανεπαρκής χρόνος θα οδηγήσει σε ατελή αποσύνθεση, ενώ ο υπερβολικός χρόνος μπορεί να διαβρώσει το υπόστρωμα πυριτίου.
Επιλογή λύσης σάρωσης:Συνιστάται ένα αραιό διάλυμα νιτρικού οξέος 1% λόγω του υψηλού ρυθμού διάλυσης μετάλλου και της χαμηλής τιμής υποβάθρου. Τα αντιδραστήρια που περιέχουν νάτριο και κάλιο θα πρέπει να αποφεύγονται για την αποφυγή παρεμβολών.
FAQ
Ως ένας από τους πιο επαγγελματίες κατασκευαστές και προμηθευτές εξοπλισμού μέτρησης και ανάλυσης στην Κίνα, μας χαρακτηρίζουν ποιοτικά προϊόντα και καλή τιμή. Να είστε σίγουροι ότι αγοράζετε προσαρμοσμένο εξοπλισμό μέτρησης και ανάλυσης από το εργοστάσιό μας. Για προσφορά και τιμοκατάλογο, επικοινωνήστε μαζί μας τώρα.
