Επισκόπηση προϊόντος

Το Photoresist Stripping Equipment είναι ένας πλήρως-αυτόματος εξοπλισμός υγρής-επεξεργασίας αφιερωμένος σε εφαρμογές απογύμνωσης φωτοανθεκτικών και ανύψωσης μετάλλων-για τη βιομηχανία ημιαγωγών.

Εξοπλισμένο με θαλάμους εμποτισμού, απογυμνωτή και καθαρού-στεγνού θαλάμου, το μηχάνημα ολοκληρώνει την πλήρη ροή εργασίας, συμπεριλαμβανομένης της διάλυσης φωτοανθεκτικού με χημικό εμποτισμό, αφαίρεσης μετάλλου και φωτοανθεκτικού, ξεβγάλματος και στεγνώματος γκοφρέτας, που στεγνώνει-σε στεγνή-λειτουργία. Είναι συμβατό με πολλαπλά υλικά υποστρώματος όπως Si, Glass, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT και LN. Το υγρό απογυμνωτή μπορεί να ανακυκλωθεί μέσω του συστήματος φιλτραρίσματος πολλαπλών- σταδίων. Οι προαιρετικές διαμορφώσεις θαλάμων (1-2 Soak, 1-2 Stripper, 1-2 Clean) ικανοποιούν τόσο τις πιλοτικές απαιτήσεις Ε&Α εργαστηρίου όσο και τις απαιτήσεις μαζικής παραγωγής μεγάλου όγκου.

Φόντα

Λειτουργία πλήρως-αυτόματου στεγνώματος-σε ξήρανση-

Αυτόματη μεταφορά γκοφρέτας και πλήρης-εκτέλεση της διαδικασίας χωρίς χειροκίνητη παρέμβαση. Όλα τα βήματα απογύμνωσης, ανύψωσης-αποκοπής, καθαρισμού και στεγνώματος ολοκληρώνονται μέσα στο εργαλείο για να αποφευχθεί η δευτερογενής μόλυνση του πλακιδίου.

Αξιόπιστη απόδοση διαδικασίας

Ποσοστό απομάκρυνσης μετάλλων (99% και ποσοστό απογύμνωσης φωτοανθεκτικού) 99%. Η απόδοση των σωματιδίων φτάνει λιγότερο από ή ίσο με 20ea@0.2μm για να διασφαλιστεί η υψηλή απόδοση παραγωγής.

Ευέλικτη προσαρμογή θαλάμου

Οι θάλαμοι εμποτισμού, απογύμνωσης και καθαρισμού είναι προαιρετικοί από 1 έως 2 σετ. Οι διαμορφώσεις μπορούν να προσαρμοστούν για μικρές-παρτίδες έρευνας και γραμμές παραγωγής υψηλής-απόδοσης.

Σύστημα Ανακύκλωσης Χημικών

Το φιλτράρισμα πολλαπλών-σταδίων επιτρέπει την ανάκτηση και επαναχρησιμοποίηση του υγρού απογυμνωτή. Μειώνει την κατανάλωση χημικών και το λειτουργικό κόστος, ενώ επιτυγχάνει-περιβαλλοντική παραγωγή.

Εφαρμογές

Προηγμένη συσκευασία
Συσκευές MEMS
Ηλεκτρικές Συσκευές Ημιαγωγών
Ολοκληρωμένα κυκλώματα RF
Οπτικά Ημιαγωγών
Εξαρτήματα οπτικής επικοινωνίας
Εργαστήρια Πανεπιστημιακού και Ερευνητικού Ινστιτούτου

Παράμετροι

Είδος	Προσδιορισμός
Μοντέλο	Σειρά AST
Λειτουργία διαδικασίας	Photoresist Strip, Metal Lift-Απενεργοποιημένο
Υποστηριζόμενα Υποστρώματα	Si, Glass, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN
Διαμόρφωση θαλάμου	1-2 Μουλιάστε, 1-2 Απογυμνωτές, 1-2 Καθαρίστε (Προαιρετικό)
Έλεγχος σωματιδίων	Μικρότερο ή ίσο με 20ea@0,2 μm
Ρυθμός αφαίρεσης μετάλλων	＞99%
PR Stripping Rate	＞99%
Διάσταση (3 θαλάμων)	2230 × 1980 × 2450 mm (Π×Β×Υ)
Διάσταση (6 θαλάμων)	3040 × 1980 × 2760 mm (Π×Β×Υ)
Λειτουργία επεξεργασίας	Αυτόματο, Στέγνωμα-στο στέγνωμα-
Χημικό Σύστημα	Φιλτράρισμα & ανακύκλωση υγρών stripper

FAQ

Ε: Τι είδους υποστρώματα μπορεί να χειριστεί ο Εξοπλισμός Απογύμνωσης Φωτοανθεκτικού;

Α: Υποστηρίζει Si, Glass, Sapphire, SiC, GaN, GaAs, InP, LN και LT. Δώστε το υλικό του υποστρώματος και το μέγεθος γκοφρέτας για αξιολόγηση συνταγής.

Ε: Τι σημαίνει στέγνωμα στο στέγνωμα;

Α: Οι γκοφρέτες τοποθετούνται στο μηχάνημα σε στεγνή κατάσταση. Το μούλιασμα, η απογύμνωση, ο καθαρισμός και η ξήρανση με άζωτο ολοκληρώνονται μέσα στον εξοπλισμό. Οι γκοφρέτες ξεφορτώνονται εντελώς στεγνές. Χωρίς χειροκίνητο χειρισμό υγρών γκοφρετών, γεγονός που μειώνει σημαντικά τους κινδύνους μόλυνσης.

Ε: Μπορεί το υγρό απογυμνωτή να επαναχρησιμοποιηθεί;

Α: Ναι. Το Photoresist Stripping Equipment είναι ενσωματωμένο με βρόχο κυκλοφορίας φιλτραρίσματος πολλαπλών σταδίων. Η διάρκεια ζωής του χημικού εξαρτάται από την απόδοση παραγωγής και τη συγκέντρωση υπολειμμάτων μετάλλου. Το σύστημα παρακολουθεί τη χημική κατάσταση και υπενθυμίζει στους χειριστές για αντικατάσταση.

Ε: Ποια είναι η διαφορά μεταξύ αυτού του εργαλείου υγρής ανύψωσης και της αποστράγγισης πλάσματος;

Α: Αυτός ο εξοπλισμός εκτελεί διαδικασία υγρής χημικής ανύψωσης. Είναι σχεδιασμένο για ανύψωση μετάλλου και αφαιρεί το περιττό μέταλλο μαζί με φωτοανθεκτικό. Η αποτέφρωση πλάσματος είναι μια ξηρή διαδικασία κυρίως για φωτοανθεκτικό τέφρα και δεν είναι κατάλληλη για απομάκρυνση χονδρού μετάλλου.

Ε: Είναι διαθέσιμη η έκδοση μικρής παρτίδας προσανατολισμένη στο εργαστήριο;

Α: Ναι. Υποστηρίζεται η ευέλικτη επιλογή θαλάμου. Συμπαγής διαμόρφωση με 1 καθαρό θάλαμο απογύμνωσης +1 απογυμνωτή +1 διατίθεται για σκοπούς έρευνας και ανάπτυξης, ενώ η έκδοση πολλαπλών θαλάμων εξυπηρετεί τη μαζική παραγωγή.

Ε: Τι απόδοση απόδοσης μπορούμε να επιτύχουμε;

Α: Σε βελτιστοποιημένες συνταγές, ο αριθμός σωματιδίων μικρότερος ή ίσος με 20ea@0.2μm, ο ρυθμός αφαίρεσης μετάλλων και ο ρυθμός απογύμνωσης PR είναι και οι δύο πάνω από 99%. Η πραγματική απόδοση επηρεάζεται επίσης από τις διαδικασίες ανάντη λιθογραφίας και εναπόθεσης μετάλλων. Παρέχουμε τεχνική υποστήριξη για τη ρύθμιση της διαδικασίας.

Δημοφιλείς Ετικέτες: φωτοανθεκτικός εξοπλισμός και εξοπλισμός απογύμνωσης μετάλλων, Κίνα κατασκευαστές εξοπλισμού φωτοανθεκτικών και απογυμνώσεων μετάλλων, προμηθευτές