Επισκόπηση προϊόντος

Το Batch Wafer Cleaner-συμπεριλαμβανομένων των μοντέλων 12-ιντσών και των μοντέλων BC 8-ιντσών-κατασκευάστηκε για ακρίβεια στην κατασκευή ημιαγωγών και την επεξεργασία πλακιδίων πυριτίου, με εξειδίκευση στην υγρή χάραξη και τον καθαρισμό. Τι το ξεχωρίζει; Ευελιξία μορφοποίησης που λειτουργεί τόσο για γκοφρέτες 12- ιντσών όσο και για 8{
Κάτω από την κουκούλα, είναι γεμάτο με χαρακτηριστικά που έχουν σημασία για σταθερά αποτελέσματα: προηγμένη διαχείριση χημικών (με υποστήριξη CCSS/LCSS), αυτοματοποιημένος έλεγχος διαδικασίας για τη δοσολογία, τη θερμοκρασία και τον ρυθμό ροής και τη βιομηχανική-τυπική επικοινωνία SECS/GEM. Αλλά δεν σταματήσαμε στην απόδοση-η ασφάλεια και η αποτελεσματικότητα ήταν επίσης κορυφαίες προτεραιότητες. Θα έχετε ενσωματωμένη-προστασία ανίχνευσης διαρροών και υπερθέρμανσης για να είστε ήσυχοι, καθώς και δυνατότητες ανάκτησης χημικών και ταξινόμησης απορριμμάτων για την ομαλή λειτουργία των λειτουργιών. Είτε χαράζετε, είτε καθαρίζετε είτε ξεπλένετε, αυτό το σύστημα προσφέρει επαναλαμβανόμενα αποτελέσματα στα οποία μπορείτε να βασίζεστε-χωρίς εικασίες.

Φόντα

Ευελιξία Μορφοποίησης & Χειρισμού

Μοντέλο 12 ιντσών:Κασέτα-λιγότερος σχεδιασμός (μειώνει τους κινδύνους μόλυνσης για γκοφρέτες 300 mm υψηλής-καθαρότητας).
Μοντέλο 8 ιντσών:Διπλός χειρισμός τύπου χωρίς κασέτα/κασέτας- + συμβατότητα SMIF POD/FOUP (προσαρμόζεται σε παλαιού τύπου/σύγχρονες ροές εργασίας 200 mm).

Έλεγχος διαδικασίας ακριβείας

Τυποποιημένα χαρακτηριστικά:Αυτόματη δοσομέτρηση, bleed&feed και ρύθμιση σε πραγματικό χρόνο της θερμοκρασίας, της συγκέντρωσης, του ρυθμού ροής και της πίεσης σε πραγματικό χρόνο (εξασφαλίζει ομοιομορφία παρτίδας-σε-παρτίδα).
Προηγμένο στέγνωμα:Στέγνωμα Marangoni/LPD (αποτρέπει τις κηλίδες/υπολείμματα νερού σε ευαίσθητες επιφάνειες γκοφρέτας).

Κόστος & Λειτουργική Αποδοτικότητα

BC3100-αποκλειστική χημική ανάκτηση (μειώνει την κατανάλωση χημικών και τα απόβλητα).

Προστασία παρτίδας υπερθέρμανσης + αισθητήρες διαρροής (ελαχιστοποιεί τον χρόνο διακοπής λειτουργίας και την απώλεια υλικού).

Εργοστασιακή Ολοκλήρωση & Συμμόρφωση

Πλήρης υποστήριξη πρωτοκόλλου SECS/GEM (επιτρέπει τη συνδεσιμότητα MES για ροές εργασίας smart fab).

Μοντέλο 8 ιντσών:Ξεχωριστή αποστράγγιση (απλοποιεί την ταξινόμηση των επικίνδυνων αποβλήτων και τη συμμόρφωση με τους κανονισμούς).

Εφαρμογές

Διαδικασίες κατασκευής IC

- Καθαρισμός RCA

- Υγρή ταινία PR

- Υγρή χάραξη διηλεκτρικού στρώματος

- Υγρή χάραξη μεταλλικού στρώματος

Επεξεργασία γκοφρέτας πυριτίου

- Αλκαλική χάραξη

- Δημοσιεύστε-καθαρισμό βερνικιού

- Προ-καθαρισμός

- Τελικό ξέβγαλμα

Μοντέλο-Ειδικές περιπτώσεις χρήσης

Μοντέλο - 12-ιντσών: Φτιαγμένο για παραγωγή 300 mm μεγάλου-όγκου. Σκεφτείτε ότι τα μεγάλα λογικά και τα τσιπ μνήμης λειτουργούν με πλήρη ταχύτητα.

Μοντέλο - 8-ιντσών: Ιδανικό για γραμμές γκοφρέτας 200 mm. Ιδανικό για ημιαγωγούς αυτοκινήτων και παλαιού τύπου μικροηλεκτρονικές-αυτές που τροφοδοτούν βασικά συστήματα.

Παράμετροι

Παράμετρος	Μοντέλο 12 ιντσών	Μοντέλο 8 ιντσών BC
Μέγεθος γκοφρέτας	12 ιντσών (300 mm)	8 ιντσών (200 mm)
Τύπος εργαλείου	Κασέτα-λιγότερη	Χωρίς κασέτα ή τύπου κασέτας
Χωρητικότητα γκοφρέτας/Βήμα	N/A	50 γκοφρέτες (25 γκοφρέτες/κασέτα x2)/ βήμα 10 χλστ
Υποστηριζόμενες εταιρείες κινητής τηλεφωνίας	N/A	SMIF POD/FOUP
Υποστήριξη προμήθειας χημικών	CCSS, LCSS	CCSS, LCSS
Τεχνολογία ξήρανσης	Μαραγκόνι ξηρό ή LPD	Μαραγκόνι στεγνό, LPD ξηρό
Χημική Διαχείριση	Αυτόματη δοσολογία, αιμορραγία&τροφοδοσία; Έλεγχος θέρμανσης/συγκέντρωσης/ροής/πίεσης	Αυτόματη δοσολογία, αιμορραγία&τροφοδοσία; Έλεγχος θέρμανσης/συγκέντρωσης/ροής/πίεσης
Χαρακτηριστικά Ασφαλείας	Προστασία από υπερθέρμανση του μπάνιου. αισθητήρες διαρροής (μονάδα-επίπεδο)	Προστασία από υπερθέρμανση του μπάνιου. ανίχνευση διαρροής? ξεχωριστός αποχέτευση
Χημική Ανάκτηση	Υποστηρίζεται	Δεν διευκρινίζεται
Πρωτόκολλο Επικοινωνίας	Πλήρης υποστήριξη SECS/GEM	Πλήρης υποστήριξη SECS/GEM
Μετάδοση κασέτας	Δεν διευκρινίζεται	Υποστηρίζεται

FAQ

Ε: Ποια μεγέθη γκοφρέτας υποστηρίζει η σειρά BC;

Α: Το BC3100 χειρίζεται γκοφρέτες 12 ιντσών (300 mm). το μοντέλο BC 8 ιντσών υποστηρίζει γκοφρέτες 8 ιντσών (200 mm).

Ε: Μπορεί η σειρά BC να λειτουργήσει με κασέτες;

Α: Το BC3100 χρησιμοποιεί μια κασέτα-λιγότερη σχεδίαση. το μοντέλο 8-ιντσών υποστηρίζει χειρισμό χωρίς κασέτα και χειρισμό τύπου κασέτας.

Ε: Ποιες βασικές διαδικασίες εκτελεί;

Α: Χειρίζεται καθαρισμό RCA, λωρίδες PR, διηλεκτρική/μεταλλική χάραξη και καθαρισμό μετά{0}}γυαλίσματος για ημιαγωγούς/γκοφρέλες.

Ε: Υποστηρίζει την εργοστασιακή ενοποίηση;

Α: Ναι-και τα δύο μοντέλα υποστηρίζουν πλήρως το πρωτόκολλο επικοινωνίας SECS/GEM για συνδεσιμότητα MES.

Ε: Τι χαρακτηριστικά ασφαλείας έχει;

Α: Τα βασικά χαρακτηριστικά περιλαμβάνουν προστασία υπερθέρμανσης μπάνιου και ανίχνευση διαρροών. Το μοντέλο 8 ιντσών προσθέτει ξεχωριστή αποστράγγιση απορριμμάτων.

Δημοφιλείς Ετικέτες: παρτίδα καθαρισμού γκοφρέτας, Κίνα κατασκευαστές καθαριστικών γκοφρετών παρτίδας, προμηθευτές