Επισκόπηση προϊόντος
Το Single-Wafer Physical Scrubber Equipment είναι μια αυτοματοποιημένη πλατφόρμα φυσικού καθαρισμού μεμονωμένων-wafer για την κατασκευή ημιαγωγών. Παρέχει υψηλής-απομάκρυνσης σωματιδίων με φυσικό τρίψιμο σε συνδυασμό με χημική βοήθεια.
Αυτός ο εξοπλισμός χρησιμοποιείται ευρέως για τον καθαρισμό εισερχόμενων πλακών, τον καθαρισμό μετά-CMP, τον καθαρισμό σημαδιών θέσης, τον καθαρισμό της πίσω όψης και την αφαίρεση υπολειμμάτων φωτοανθεκτικού υλικού. Διαθέτοντας σταθερή καθοδική ροή μέσα στους θαλάμους, διατηρεί εξαιρετικό στατικό και δυναμικό περιβάλλον καθαριότητας. Πολλαπλοί βραχίονες ψεκασμού και σταθερά ακροφύσια υποστηρίζουν μεικτούς τρόπους ψεκασμού. Η δομή διαχωρισμού υγρών αερίων-διαχωρίζει τα απόβλητα οργανικών διαλυτών και την εκκένωση DI-του νερού. Η διαμόρφωση αρθρωτού θαλάμου από 2-8 θαλάμους είναι προαιρετική. Υποστηρίζει υποστρώματα πολλών{11}μεγεθών συμπεριλαμβανομένων Si, SiC, Glass, GaAs, InP, Sapphire, LN και LT, καλύπτοντας πιλοτικά σενάρια Ε&Α καθώς και σενάρια παραγωγής μαζικού όγκου.
Φόντα
Εξαιρετική ικανότητα αφαίρεσης σωματιδίων
Επιτυγχάνει έλεγχο σωματιδίων Λιγότερο ή ίσο με 10ea@0,1 μm. Αφαιρεί αποτελεσματικά μικρο-σωματίδια, σκόνη και υπολείμματα επιφάνειας μέσω φυσικού καθαρισμού, πληρώντας τις αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας για συσκευές ημιαγωγών υψηλής ποιότητας.
Αξιόπιστος Έλεγχος Περιβάλλοντος Επιμελητηρίου
Η σταθερή κατακόρυφη καθοδική ροή καταστέλλει την επαναπροσρόφηση σωματιδίων στην επιφάνεια του πλακιδίου. Ο μηχανισμός διαχωρισμού υγρών-αερίων αποτρέπει τη διασταυρούμενη-ανάμιξη διαφορετικών υγρών αποβλήτων, μειώνει τον κίνδυνο διάβρωσης του αγωγού και απλοποιεί την επεξεργασία-απόβλητων υδάτων.
Διαφοροποιημένος Συνδυασμός Ψεκασμού
Πολλαπλοί βραχίονες ψεκασμού μαζί με σταθερά ακροφύσια ψεκασμού επιτρέπουν ευέλικτους συνδυασμούς λειτουργίας ψεκασμού. Το φυσικό τρίψιμο μπορεί να συντονιστεί με διαφορετικά χημικά σπρέι για τη βελτιστοποίηση της απόδοσης καθαρισμού για διάφορους τύπους μόλυνσης.
Αρθρωτή και κλιμακούμενη διάταξη
Προαιρετικά 2-8 διαμορφώσεις θαλάμων. Οι συμπαγείς ρυθμίσεις ταιριάζουν στην εργαστηριακή έρευνα και σε μικρές-δοκιμές παρτίδας, ενώ οι διαμορφώσεις υψηλού-θαλάμου-πληρούν τις απαιτήσεις μαζικής παραγωγής υψηλής-διακίνησης.
Εφαρμογές
-
Προηγμένη συσκευασία
-
Συσκευές MEMS
-
Ηλεκτρικές Συσκευές Ημιαγωγών
-
Ολοκληρωμένα κυκλώματα RF
-
Οπτικά Ημιαγωγών
-
Εξαρτήματα οπτικής επικοινωνίας
-
Κατασκευή φωτομάσκας
-
Εργαστήρια Πανεπιστημιακού και Ερευνητικού Ινστιτούτου
Παράμετροι
|
Είδος |
Προσδιορισμός |
|
Λειτουργία διαδικασίας |
Εισερχόμενος καθαρισμός, ανάρτηση-καθαρισμός CMP, καθαρισμός ανάρτησης-σήμανσης, καθαρισμός πίσω πλευράς, καθαρισμός υπολειμμάτων φωτοανθεκτικών |
|
Υποστηριζόμενα Υποστρώματα |
Si, SiC, Glass, GaAs, InP, Sapphire, LN, LT |
|
Διαμόρφωση θαλάμου |
2-8 θαλάμους (Προαιρετικό) |
|
Έλεγχος σωματιδίων |
Μικρότερο ή ίσο με 10ea@0,1 μm |
|
Μόλυνση μεταλλικών ιόντων |
5E9 άτομα/cm² |
|
Σχεδιασμός πυρήνα |
Σταθερό περιβάλλον καθοδικής ροής, δομή διαχωρισμού αερίων{0}}υγρού, σύστημα ψεκασμού πολλαπλών-λειτουργιών |
|
Λειτουργία επεξεργασίας |
Αυτόματος φυσικός καθαρισμός μονής-γκοφρέτας |
|
Διάσταση (2-4 θάλαμοι) |
2139 × 1986 × 2519 mm (Π×Β×Υ) |
|
Διάσταση (8 θάλαμοι) |
2400 × 3704 × 2950 mm (Π×Β×Υ) |
FAQ
Ε: Ποιες εργασίες καθαρισμού μπορεί να ολοκληρώσει αυτός ο ενιαίος εξοπλισμός χημικού καθαρισμού γκοφρέτας;
Α: Χειρίζεται τον καθαρισμό του υποστρώματος και του επιταξιακού στρώματος, την απογύμνωση φωτοανθεκτικού, την αφαίρεση στρώματος οξειδίου και άλλες τυπικές ροές εργασίας υγρού καθαρισμού ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται ευρέως πριν και μετά από διαδικασίες λιθογραφίας, χάραξης και εναπόθεσης λεπτού φιλμ. Δώστε το υλικό του υποστρώματος και τον τύπο μόλυνσης για τον συντονισμό της συνταγής.
Ε: Ποιο είναι το όφελος του μηχανισμού διαχωρισμού αερίων υγρών;
Α: Διαχωρίζει τα οργανικά χημικά απόβλητα και τα ρεύματα αποστράγγισης νερού DI. Αποφεύγει τη διασταυρούμενη χημική ανάμειξη στον αγωγό αποβλήτων, μειώνει τη διάβρωση του αγωγού και διευκολύνει την επακόλουθη επεξεργασία υγρών αποβλήτων.
Ε: Τι κάνει η λειτουργία Auto Clean;
Α: Το Auto Clean είναι μια έξυπνη λειτουργία αυτοκαθαρισμού θαλάμου. Υποστηρίζει καθαρισμό υψηλής θερμοκρασίας SPM για το εσωτερικό του θαλάμου, μειώνει τη συσσώρευση σωματιδίων μέσα στις κοιλότητες και μειώνει τη συχνότητα συντήρησης PM.
Ε: Μπορεί το μηχάνημα να επεξεργαστεί διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτες;
Α: Ναι. Η πλατφόρμα έχει σχεδιαστεί για συμβατότητα με γκοφρέτα πολλαπλών μεγεθών. Η εναλλαγή μεταξύ των κατάλληλων μεγεθών γκοφρέτας δεν απαιτεί μεγάλης κλίμακας τροποποίηση υλικού.
Ε: Ποια είναι η διαφορά μεταξύ του χημικού καθαρισμού μεμονωμένης γκοφρέτας και του καθαρισμού παρτίδας;
Α: Ο καθαρισμός μιας γκοφρέτας επεξεργάζεται κάθε γκοφρέτα ανεξάρτητα με ακριβή έλεγχο της δοσολογίας, της θερμοκρασίας και του χρόνου διεργασίας των χημικών. Επιτυγχάνει ανώτερη απόδοση σωματιδίων και μεταλλικών ιόντων, η οποία ταιριάζει σε σύνθετους ημιαγωγούς, οπτικά τσιπ και συσκευές υψηλής τεχνολογίας με αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας. Ο καθαρισμός παρτίδας επεξεργάζεται πολλές γκοφρέτες μαζί και είναι πιο οικονομικός για την παραγωγή τυπικών πλακιδίων πυριτίου μεγάλου όγκου.
Ε: Μπορώ να επιλέξω μια έκδοση μικρού θαλάμου για εργαστηριακή χρήση;
Α: Ναι. Η ποσότητα θαλάμου μπορεί να επιλεγεί από 2 έως 8. Οι διαμορφώσεις χαμηλού αριθμού θαλάμων είναι κατάλληλες για Ε&Α και δοκιμαστική παραγωγή μικρών παρτίδων, ενώ οι εκδόσεις υψηλότερου αριθμού θαλάμων στοχεύουν σε γραμμές μαζικής παραγωγής.
Ε: Για ποια σενάρια καθαρισμού είναι κατάλληλος ο φυσικός καθαριστής;
Α: Χρησιμοποιείται κυρίως για τον καθαρισμό εισερχόμενου υλικού, τον καθαρισμό μετά τη CMP, τον καθαρισμό μετά τη σήμανση, τον καθαρισμό της πίσω πλευράς της γκοφρέτας και την αφαίρεση υπολειμματικού φωτοανθεκτικού υλικού. Επικεντρώνεται στη φυσική απομάκρυνση των επιφανειακών μικροσωματιδίων. Παρέχετε πληροφορίες υλικού υποστρώματος και μόλυνσης για βελτιστοποίηση συνταγής.
Δημοφιλείς Ετικέτες: Εξοπλισμός φυσικής καθαριστικής μηχανής μονής γκοφρέτας, κατασκευαστές εξοπλισμού φυσικού πλυντηρίου μονής βάφρας Κίνας, προμηθευτές
