Επισκόπηση προϊόντος

Το Single-Wafer Chemical Cleaning Equipment είναι μια αυτοματοποιημένη-πλατφόρμα υγρού καθαρισμού μεμονωμένης γκοφρέτας που αναπτύχθηκε για τις απαιτήσεις καθαρισμού μπροστινού-τελικού και μετά{3}} ημιαγωγών. Εκτελεί καθαρισμό υποστρώματος και επιταξιακού στρώματος, απογύμνωση φωτοανθεκτικού, αφαίρεση οξειδίων και άλλες κρίσιμες διαδικασίες καθαρισμού.

Το μηχάνημα υιοθετεί πολλαπλούς-βραχίονες ψεκασμού και σταθερά ακροφύσια ψεκασμού για την υλοποίηση διαφορετικών συνδυασμών ψεκασμού υγρών. Η σταθερή ροή αέρα προς τα κάτω βελτιστοποιεί τόσο το στατικό όσο και το δυναμικό περιβάλλον του θαλάμου. Η δομή πολλών-φλιτζανιών επιτυγχάνει αποτελεσματικό χημικό διαχωρισμό και ο μηχανισμός διαχωρισμού αερίων-υγρών διαχωρίζει τα οργανικά απόβλητα υγρά και την εκκένωση DI-του νερού. Η ενσωματωμένη-έξυπνη λειτουργία Auto-Clean υποστηρίζει τη διαδικασία SPM υψηλής-θερμοκρασίας και μειώνει τη συχνότητα προληπτικής συντήρησης. Ο εξοπλισμός υποστηρίζει συμβατότητα{11}}όγκων πολλαπλών μεγεθών και καλύπτει υποστρώματα όπως Si, SiC, LN, LT, Glass, GaAs, InP και Sapphire. Οι επιλογές αρθρωτών θαλάμων από 2-8 θαλάμους ανταποκρίνονται στις απαιτήσεις που κυμαίνονται από εργαστηριακή Ε&Α έως μαζική κατασκευή μεγάλου όγκου.

Φόντα

Εξαιρετική απόδοση καθαρισμού

Αυστηρός έλεγχος σωματιδίων Λιγότερο ή ίσο με 10ea@0.1μm, εξαιρετικά-χαμηλή μόλυνση με μεταλλικά ιόντα έως 5E9 άτομα/cm². Αφαιρεί αποτελεσματικά σωματίδια, οργανικά υπολείμματα και ακαθαρσίες μετάλλων για να εγγυηθεί την επακόλουθη-απόδοση της διαδικασίας.

Βελτιστοποιημένος Περιβαλλοντικός Έλεγχος Επιμελητηρίου

Η σταθερή κατακόρυφη ροή στο εσωτερικό του θαλάμου καταστέλλει την επανασύνδεση σωματιδίων-. Η δομή πολλών-φλιτζανιών απομονώνει διαφορετικές χημικές ουσίες για να αποτρέψει τη διασταυρούμενη-μόλυνση. Ο σχεδιασμός διαχωρισμού υγρών αερίων-διαχωρίζει τα οργανικά απόβλητα και το νερό DI-για ασφαλέστερη διάθεση απορριμμάτων.

Ευέλικτο σύστημα ψεκασμού πολλαπλών-λειτουργιών

Εξοπλισμένο με έως και τρεις βραχίονες ψεκασμού και ένα σταθερό ακροφύσιο. Πολλαπλά σχέδια ψεκασμού μπορούν να συνδυαστούν για να προσαρμοστούν σε διάφορες συνταγές καθαρισμού για διαφορετικά υποστρώματα και συνθήκες μόλυνσης.

Λειτουργία Έξυπνης Αυτοσυντήρησης-

Η ενσωματωμένη λειτουργία Auto-Clean υποστηρίζει καθαρισμό SPM υψηλής-θερμοκρασίας. Μειώνει τον φόρτο εργασίας του χειροκίνητου καθαρισμού και παρατείνει το μέσο χρόνο μεταξύ της προληπτικής συντήρησης.

Εφαρμογές

Προηγμένη συσκευασία
Συσκευές MEMS
Ηλεκτρικές Συσκευές Ημιαγωγών
Ολοκληρωμένα κυκλώματα RF
Οπτικά Ημιαγωγών
Εξαρτήματα οπτικής επικοινωνίας
Κατασκευή φωτομάσκας
Εργαστήρια Πανεπιστημιακού και Ερευνητικού Ινστιτούτου

Παράμετροι

Είδος	Προσδιορισμός
Μοντέλο	Σειρά ACL
Λειτουργία διαδικασίας	Καθαρισμός υποστρώματος & επιταξιακής στρώσης, λωρίδα PR, αφαίρεση οξειδίου
Υποστηριζόμενα Υποστρώματα	Si, SiC, LN, LT, Glass, GaAs, InP, Sapphire
Διαμόρφωση θαλάμου	2-8 θαλάμους (Προαιρετικό)
Έλεγχος σωματιδίων	Μικρότερο ή ίσο με 10ea@0,1 μm
Μόλυνση μεταλλικών ιόντων	5E9 άτομα/cm²
Μονάδα ψεκασμού	Έως 3 βραχίονες ψεκασμού + 1 σταθερό ακροφύσιο
Βασικό χαρακτηριστικό	Αυτόματος-Καθαρισμός, υποστηρίζει διαδικασία SPM υψηλής-θερμοκρασίας, διαχωρισμό υγρών-
Λειτουργία επεξεργασίας	Αυτόματη επεξεργασία ενός-wafer
Διάσταση (2-4 θάλαμοι)	2560 × 2426 × 2863 mm (Π×Β×Υ)
Διάσταση (8 θάλαμοι)	5252 × 2412 × 2959 mm (Π×Β×Υ)

FAQ

Ε: Ποιες εργασίες καθαρισμού μπορεί να ολοκληρώσει αυτός ο ενιαίος εξοπλισμός χημικού καθαρισμού γκοφρέτας;

Α: Χειρίζεται τον καθαρισμό του υποστρώματος και του επιταξιακού στρώματος, την απογύμνωση φωτοανθεκτικού, την αφαίρεση στρώματος οξειδίου και άλλες τυπικές ροές εργασίας υγρού καθαρισμού ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται ευρέως πριν και μετά τις διαδικασίες λιθογραφίας, χάραξης και εναπόθεσης λεπτού φιλμ. Παρέχετε το υλικό του υποστρώματος και τον τύπο μόλυνσης για τον συντονισμό της συνταγής.

Ε: Ποιο είναι το όφελος του μηχανισμού διαχωρισμού αερίων υγρών;

Α: Διαχωρίζει τα οργανικά χημικά απόβλητα και τα ρεύματα αποστράγγισης νερού DI. Αποφεύγει τη διασταυρούμενη χημική ανάμειξη στον αγωγό αποβλήτων, μειώνει τη διάβρωση του αγωγού και διευκολύνει την επακόλουθη επεξεργασία υγρών αποβλήτων.

Ε: Τι κάνει η λειτουργία Auto Clean;

Α: Το Auto Clean είναι μια έξυπνη λειτουργία αυτοκαθαρισμού θαλάμου. Υποστηρίζει καθαρισμό υψηλής θερμοκρασίας SPM για το εσωτερικό του θαλάμου, μειώνει τη συσσώρευση σωματιδίων μέσα στις κοιλότητες και μειώνει τη συχνότητα συντήρησης PM.

Ε: Μπορεί το μηχάνημα να επεξεργαστεί διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτες;

Α: Ναι. Η πλατφόρμα έχει σχεδιαστεί για συμβατότητα με γκοφρέτα πολλαπλών μεγεθών. Η εναλλαγή μεταξύ των κατάλληλων μεγεθών γκοφρέτας δεν απαιτεί μεγάλης κλίμακας τροποποίηση υλικού.

Ε: Ποια είναι η διαφορά μεταξύ του χημικού καθαρισμού μιας γκοφρέτας και του καθαρισμού παρτίδας;

Α: Ο καθαρισμός μιας γκοφρέτας επεξεργάζεται κάθε γκοφρέτα ανεξάρτητα με ακριβή έλεγχο της δοσολογίας, της θερμοκρασίας και του χρόνου διεργασίας των χημικών. Επιτυγχάνει ανώτερη απόδοση σωματιδίων και μεταλλικών ιόντων, η οποία ταιριάζει σε σύνθετους ημιαγωγούς, οπτικά τσιπ και συσκευές υψηλής τεχνολογίας με αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας. Ο καθαρισμός παρτίδας επεξεργάζεται πολλές γκοφρέτες μαζί και είναι πιο οικονομικός για την παραγωγή τυπικών πλακιδίων πυριτίου μεγάλου όγκου.

Ε: Μπορώ να επιλέξω μια έκδοση μικρού θαλάμου για εργαστηριακή χρήση;

Α: Ναι. Η ποσότητα θαλάμου μπορεί να επιλεγεί από 2 έως 8. Οι διαμορφώσεις χαμηλού αριθμού θαλάμων είναι κατάλληλες για Ε&Α και δοκιμαστική παραγωγή μικρών παρτίδων, ενώ οι εκδόσεις υψηλότερου αριθμού θαλάμων στοχεύουν σε γραμμές μαζικής παραγωγής.

Δημοφιλείς Ετικέτες: Εξοπλισμός χημικού καθαρισμού μίας γκοφρέτας, κατασκευαστές εξοπλισμού χημικού καθαρισμού μίας γκοφρέτας Κίνας, προμηθευτές