Επισκόπηση προϊόντος
Τα SCD6 και SCD6S είναι συμπαγή συστήματα αυτόματης περιστροφής και ανάπτυξης 6 ιντσών για σύνθετους ημιαγωγούς, συσκευές ισχύος, MEMS και οπτοηλεκτρονική κατασκευή.
SCD6: Προορίζεται για ηλεκτρικές συσκευές και παραγωγή LED. Υιοθετεί συμπαγή δομή, υποστηρίζει υποστρώματα όπως Si, Sapphire, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN και ταιριάζει σε διαδικασίες G-line / i-line.
SCD6S: Προσανατολισμένο σε MEMS, ολοκληρωμένο κύκλωμα RF, οπτική επικοινωνία και εργαστηριακή έρευνα. Επεκτείνει τη συμβατότητα υλικών με το Glass και προσθέτει ικανότητα διεργασίας PI, παρέχοντας μεγαλύτερη ευελιξία για διάφορες εργασίες Ε&Α και πιλοτικές-παραγωγικές εργασίες.
Και τα δύο μοντέλα διαθέτουν μικρό αποτύπωμα, συμβατότητα διπλού-μεγέθους χωρίς αντικατάσταση εξαρτημάτων, ακριβή τροφοδοσία δοσομετρικής αντλίας φωτοαντίστασης και ολοκληρωμένες ενσωματωμένες-λειτουργίες όπως EBR, BSR και αυτόματο καθαρισμό ακροφυσίων-.
Φόντα
Διαφοροποίηση μοντέλων για διαφορετικά σενάρια Το SCD6 βελτιστοποιεί την παραγωγή ισχύος/μάζας LED-. Το SCD6S προσθέτει υποστήριξη διεργασίας PI και γυάλινου υποστρώματος-για χρήστες MEMS, RF και έρευνας-.
Ευέλικτες προαιρετικές μονάδες Υποστηρίζουν φωτοανθεκτικό / έλεγχο θερμοκρασίας προγραμματιστή, μονάδα εκκίνησης ατμού HMDS για να ανταποκρίνεται στις διαφορετικές απαιτήσεις της διαδικασίας.
Πλήρης δυνατότητα ιχνηλασιμότητας Μακροπρόθεσμη αποθήκευση για αρχεία καταγραφής αστοχιών εξοπλισμού και εγγραφές παραμέτρων διεργασίας, βολική για ποιοτική ανίχνευση και ανάλυση διεργασιών.
Ολοκληρωμένες τυπικές λειτουργίες διεργασίας Ενσωματωμένες-με EBR, BSR, RRC, λειτουργίες αυτόματης ενυδάτωσης και καθαρισμού με ακροφύσιο κόλλας για τη διασφάλιση σταθερής ποιότητας λιθογραφίας.
Παράδοση φωτοανθεκτικού υψηλής ακρίβειας-Δοσιμετρική αντλία ακριβείας για παροχή φωτοανθεκτικού, υψηλή ακρίβεια δοσολογίας και σταθερή τροφοδοσία υγρού. εύκολη ρύθμιση συνταγής για όγκο διανομής.
Παράμετροι
|
Είδος |
SCD6 |
SCD6S |
|
Μοντέλο |
SCD6 6-ιντσών Spin Coater & Developer |
SCD6S Spin Coater & Developer 6 ιντσών |
|
Μέγεθος γκοφρέτας |
6-ιντσών (150 mm), συμβατό σε διπλό μέγεθος χωρίς αντικατάσταση εξαρτημάτων |
6-ιντσών (150 mm), συμβατό σε διπλό μέγεθος χωρίς αντικατάσταση εξαρτημάτων |
|
Υλικό Υποστρώματος |
Si, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, Glass, Sapphire |
|
Διαμορφώσεις θαλάμου |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Υποστηριζόμενη διαδικασία λιθογραφίας |
Γ-γραμμή, i-γραμμή |
G-line, i-line, PI |
|
Διάσταση εξοπλισμού (Π × Β × Υ) |
1050 × 1900 × 2200 χλστ |
1500 × 1450 × 2200 χλστ |
|
Προαιρετικές μονάδες |
Έλεγχος θερμοκρασίας φωτοαντίστασης / προγραμματιστή, μονάδα HMDS |
Έλεγχος θερμοκρασίας φωτοαντίστασης / προγραμματιστή, μονάδα HMDS |
|
Ενσωματωμένες{0}}συναρτήσεις πυρήνα |
EBR, BSR, RRC, αυτόματο-ύγρανση και καθαρισμό ακροφυσίων |
EBR, BSR, RRC, αυτόματο-ύγρανση και καθαρισμό ακροφυσίων |
|
Λειτουργία ελέγχου |
Τοπικός έλεγχος, μακροπρόθεσμη-συνταγή και αποθήκευση σφαλμάτων |
Τοπικός έλεγχος, μακροπρόθεσμη-συνταγή και αποθήκευση σφαλμάτων |
|
Πιστοποίηση |
Συμβατό με το SEMI S2 |
Συμβατό με το SEMI S2 |
Συχνές ερωτήσεις
Ε: Ποια είναι η διαφορά μεταξύ SCD6 και SCD6S;
A: Το SCD6 είναι βελτιστοποιημένο για μαζική παραγωγή συσκευών ισχύος και LED, υποστηρίζοντας διάφορα σύνθετα υποστρώματα ημιαγωγών (Sapphire, GaN, SiC κ.λπ.) με διεργασίες γραμμής G / i. Το SCD6S προσθέτει ικανότητα διεργασίας PI και συμβατότητα γυάλινου υποστρώματος, πιο κατάλληλο για σενάρια MEMS, RF IC, οπτικής επικοινωνίας και εργαστηριακής έρευνας και ανάπτυξης. Οι διαμορφώσεις θαλάμου και οι φυσικές διαστάσεις είναι επίσης διαφορετικές.
Ε: Το SCD6 / SCD6S υποστηρίζει την εναλλαγή μεγέθους πλακιδίων;
Α: Ναι. Και τα δύο μοντέλα υποστηρίζουν συμβατότητα διπλού μεγέθους χωρίς αντικατάσταση ανταλλακτικών, μειώνοντας τον χρόνο αλλαγής του προϊόντος.
Ε: Ποιες προαιρετικές ενότητες μπορούν να επιλεγούν;
Α: Η μονάδα ελέγχου θερμοκρασίας Photoresist & developer, η μονάδα priming HMDS είναι διαθέσιμη τόσο για SCD6 όσο και για SCD6S.
Ε: Μπορεί το μηχάνημα να αποθηκεύσει τη διαδικασία και το ιστορικό σφαλμάτων;
Α: Ναι. Οι παράμετροι διεργασίας και τα αρχεία σφαλμάτων εξοπλισμού μπορούν να αποθηκευτούν μακροπρόθεσμα για ποιοτική ανίχνευση και εντοπισμό σφαλμάτων.
Ε: Είναι κατάλληλα για μαζική παραγωγή ή μόνο εργαστηριακή χρήση;
Α: Και οι δύο υποστηρίζουν τη μαζική παραγωγή μικρής παρτίδας καθώς και την εργαστηριακή Ε&Α. Το SCD6 είναι πιο προσανατολισμένο προς την παραγωγή ισχύος / LED. Το SCD6S ταιριάζει σε πιλοτικά έργα παραγωγής και έρευνας.
Δημοφιλείς Ετικέτες: 6 ιντσών spin-coater και developer, Κίνα κατασκευαστές spin-coater και developer 6 ιντσών, προμηθευτές
