Πώς να επιλέξετε το σωστό σύστημα ψεκασμού Magnetron για την εργασία σας

Η επιλογή μιας μηχανής επίστρωσης με ψεκασμό με μάγνητρο δεν είναι να επιλέξετε την "καλύτερη"-αλλά να βρείτε αυτήν που ταιριάζει στη ροή εργασίας σας σαν γάντι. Είτε φτιάχνετε εξαρτήματα ημιαγωγών ανά παρτίδα, τροποποιείτε φόρμουλες λεπτών-μεμβρανών σε ένα εργαστήριο είτε εξισορροπείτε την ευελιξία με τις απαιτήσεις παραγωγής, το σύστημα τριών Magnetron Sputtering της εταιρείας μας δημιουργεί ένα γλυκό σημείο για διαφορετικές ανάγκες. Ας περιορίσουμε τις προδιαγραφές και ας ταιριάξουμε αυτό που κάνετε με αυτό που χρειάζεστε.

Πρώτον: Κάντε αυτές τις 3 ερωτήσεις για να το περιορίσετε

Δεν χρειάζεται να βουτήξετε αμέσως σε κάθε τεχνική λεπτομέρεια. Ξεκινήστε με τα βασικά που διαμορφώνουν την ημέρα-σε-την εργασία σας:

1. Κλιμακώνετε για μαζική παραγωγή ή επαναλαμβάνετε σε μικρή-παρτίδα Ε&Α;

2. Με ποια υποστρώματα και υλικά δουλεύετε; (Σκεφτείτε μεγέθη γκοφρέτας, μέταλλα έναντι διηλεκτρικών.)

3. Χρειάζεστε αυτοματισμό-για να συμβαδίζετε ή ευελιξία για να τροποποιείτε τις διαδικασίες εν κινήσει;

Η απάντηση σε αυτά θα σας οδηγήσει αμέσως στο σωστό σύστημα. Ας αναλύσουμε πώς ταιριάζει το καθένα με τα σενάρια του πραγματικού-κόσμου.

Για βιομηχανική παραγωγή υψηλού-όγκου:Βιομηχανικό μοντέλο πολλαπλών θαλάμων-Σύστημα Sputtering Magnetron

Εάν ο στόχος σας είναι να συνεχίσετε τις γραμμές παραγωγής να κινούνται χωρίς να θυσιάσετε την ποιότητα του φιλμ-ας πούμε, κατασκευάζετε ημιαγωγούς ή{1}}ηλεκτρονικά υψηλής ακρίβειας-αυτό το σύστημα είναι κατασκευασμένο για να χειρίζεται το άλεσμα. Δεν είναι απλώς ένα μηχάνημα. είναι μια βελτιωμένη ροή εργασίας σε ένα κουτί.

Τι το κάνει να ξεχωρίζει; Χρησιμοποιεί έως και 5 αρθρωτούς, ανεξάρτητους θαλάμους διεργασίας, ώστε να μπορείτε να εκτελέσετε τον πλήρη κύκλο επίστρωσης-θέρμανσης, απαέρωσης, ψεκασμού, ακόμη και καθαρισμού-χωρίς χειροκίνητη παρέμβαση. Αυτό σημαίνει λιγότερο χρόνο διακοπής μεταξύ παρτίδων και σταθερά αποτελέσματα, κάθε φορά. Έχουμε δει κατασκευαστές ημιαγωγών να μειώνουν τον χρόνο διεργασίας κατά 30% απλώς αφήνοντας τον αυτοματισμό να χειρίζεται τα επαναλαμβανόμενα βήματα.

Είναι κατασκευασμένο για γκοφρέτες 6- και 8 ιντσών, χειρίζεται μέταλλα και διηλεκτρικά με ευκολία και επιτυγχάνει ένα απόλυτο κενό 2×10-5 Pa-κρίσιμο για να διατηρεί καθαρές αυτές τις λεπτές μεμβράνες. Και με ομοιομορφία επίστρωσης εντός ±3%, δεν θα χρειαστεί να ταξινομήσετε τα ελαττωματικά μέρη στο τέλος της γραμμής.

Εν ολίγοις: Εάν η "αποτελεσματικότητα" και η "συνέπεια" είναι τα τσιτάτα της ομάδας σας, αυτό είναι το άλογο σας.

Για ευέλικτες βιομηχανικές ανάγκες:Μοντέλο Industrial Single-Chamber ModelΣύστημα Sputtering Magnetron

Δεν χρειάζεται κάθε όροφος παραγωγής μια πλήρη-ρύθμιση πολλών θαλάμων. Ίσως κάνετε εναλλαγή μεταξύ μεταλλικών επιστρώσεων τη μία εβδομάδα και κεραμικών την επόμενη, ή θέλετε να εξισορροπήσετε την παραγωγή με το κόστος. Εκεί λάμπει το σύστημα Industrial Standard-είναι το "jack of all trades" που εξακολουθεί να προσφέρει απόδοση βιομηχανικής-βαθμίδας.

Σχεδιάσαμε αυτό με γνώμονα την πρακτικότητα. Είναι ενεργειακά-και χρησιμοποιεί τους στόχους με σύνεση, ώστε να μην σπαταλάτε υλικά ή ισχύ. Το στάδιο του υποστρώματος είναι ένα παιχνίδι-αλλάζει επίσης-μπορείτε να το θερμάνετε έως τους 650 βαθμούς ή να το κρυώσετε, ανάλογα με το τι χρειάζεται το υλικό σας για να κολλήσει και να σκληρύνει σωστά. Δεν χρειάζεται πλέον η εξάρτηση επιπλέον εξοπλισμού για τη ρύθμιση της θερμοκρασίας.

Λειτουργεί με γκοφρέτες 8-ιντσών και μικρότερες, υποστηρίζει έως και 4 πιστόλια στόχων και προαιρετικά πρόσθετα, όπως θάλαμος LOADLOCK ή κασέτα πολλαπλών-wafer, το καθιστούν εύκολο να προσαρμόζεται καθώς αυξάνονται οι ανάγκες σας. Ένα εργοστάσιο ηλεκτρονικών με το οποίο συνεργαζόμαστε το χρησιμοποιεί για τα πάντα, από επιστρώσεις αισθητήρων έως εξαρτήματα πλακέτας κυκλώματος - τους αρέσει που δεν χρειάζονται ξεχωριστό μηχάνημα για κάθε εργασία.

Για Εργαστήρια & Ε&Α:Έρευνα-Μοντέλο ΒαθμούΣύστημα Sputtering Magnetron

Εάν βρίσκεστε σε ένα πανεπιστημιακό εργαστήριο ή σε μια startup που δοκιμάζει νέες τεχνολογίες λεπτών-φίλμ-νομιστών κβαντικών τσιπ ή προηγμένων αισθητήρων-χρειάζεστε ένα σύστημα που είναι τόσο περίεργο όσο η ομάδα σας. Η Research Edition εμπορεύεται την αυτοματοποίηση υψηλού-όγκου για την ευελιξία πειραματισμού, προσαρμογής και επανάληψης χωρίς ταλαιπωρία.

Αυτό είναι το σύστημα για το οποίο διασκεδάζουν οι συνεργάτες μας Ε&Α. Χειρίζεται σχεδόν κάθε υλικό που μπορείτε να του ρίξετε: Al, Au, Cu για μέταλλα. SiO2, TaN για διηλεκτρικά. ακόμη και ημιαγωγοί. Μπορείτε να προσθέσετε ενότητες όπως έναν προ{2}}θάλαμο κενού ή δείγματα εργαλείων καθαρισμού καθώς εξελίσσεται το έργο σας-δεν χρειάζεται να αγοράσετε ένα εντελώς νέο μηχάνημα όταν η έρευνά σας παίρνει στροφή.

Είναι αρκετά συμπαγής για εργαστηριακούς χώρους και η μικρή χωρητικότητα-παρτίδας σημαίνει ότι δεν θα σπαταλήσετε πολύτιμα υλικά σε δοκιμές. Το στάδιο υποστρώματος σάς επιτρέπει να προσαρμόσετε τη θερμοκρασία (RT-600 μοίρες ) και την ταχύτητα περιστροφής (5-20 RPM), ώστε να μπορείτε να επιλέξετε αυτές τις τέλειες παραμέτρους διαδικασίας. Για γκοφρέτες 8 ιντσών, εξακολουθεί να έχει ομοιομορφία ±3% - έτσι τα αποτελέσματα του εργαστηρίου σας μεταφράζονται όταν είστε έτοιμοι να κλιμακώσετε.

Γρήγορη αναφορά: Ποιο σύστημα ταιριάζει στον ρόλο σας;

Μια τελευταία σημείωση: Έχουμε την πλάτη σας

Όλα τα συστήματα Magnetron Sputtering πληρούν αυστηρά πρότυπα ποιότητας, αλλά αυτό που πραγματικά μας ξεχωρίζει είναι η υποστήριξη. Η ομάδα μας συνδυάζει την τοπική ταχύτητα απόκρισης με την τεχνογνωσία των κεντρικών γραφείων-και τα ανταλλακτικά σε ετοιμότητα-ώστε να μην κολλάτε ποτέ στην αναμονή εάν χρειάζεστε βοήθεια. Και αν το έργο σας χρειάζεται κάτι προσαρμοσμένο, όπως μεγαλύτερα υποστρώματα ή μοναδικές ρυθμίσεις διεργασιών, θα προσαρμόσουμε το σύστημα σε εσάς.

Το καλύτερο μέρος; Δεν αγοράζετε απλώς μια μηχανή-επιλέγετε μια λύση που αναπτύσσεται μαζί σας. Εάν εξακολουθείτε να είστε στο φράχτη για το ποιο σύστημα ταιριάζει στο επόμενο έργο σας, ρίξτε μια γραμμή στην τεχνική ομάδα μας. Θα περιηγηθούμε στη ροή εργασιών σας, θα απαντήσουμε στις ερωτήσεις σας και θα βεβαιωθούμε ότι λαμβάνετε ακριβώς αυτό που χρειάζεστε.