Πόσος χρόνος χρειάζεται για να αγοράσετε και να εγκαταστήσετε μια μηχανή φωτολιθογραφίας; Πλήρης Οδηγός Χρονολογίου & Ετοιμότητας Εγκαταστάσεων
Εκδόθηκε από την DMJ Semiconductor Engineering Division
Ιστοσελίδα: https://www.dmjsemi.com/
Κοινό-στόχος: Διευθυντές Cleanroom, σχεδιαστές λειτουργιών ημιαγωγών, ακαδημαϊκοί διευθυντές nanofab, επόπτες παραγωγής MEMS και επικεφαλής προμηθειών κεφαλαίου εξοπλισμού.
1. Εισαγωγή
Όταν σχεδιάζουν την απόκτηση εξοπλισμού φωτολιθογραφίας ημιαγωγών, οι διευθυντές εγκαταστάσεων και οι διαχειριστές έργων εστιάζουν σταθερά σε δύο θεμελιώδη ερωτήματα προγραμματισμού:
• Πόσος χρόνος χρειάζεται από την παραγγελία έως την παραλαβή του μηχανήματος στις εγκαταστάσεις μας;
• Μόλις ο εξοπλισμός φτάσει στην αποβάθρα φόρτωσης του καθαρού δωματίου, πόσο γρήγορα μπορεί να εγκατασταθεί, να βαθμονομηθεί και να τεθεί σε ενεργό παραγωγή;
Ο εξοπλισμός φωτολιθογραφίας δεν είναι-το-εργαστηριακό εργαλείο. Τα συστήματα έκθεσης ενσωματώνουν στάδια δόνησης από γρανίτη ακριβείας, οπτικά συγκροτήματα υπο{3}}μικρών, πηγές φωτισμού υψηλής-ισχύς και εξειδικευμένο λογισμικό ελέγχου. Ως αποτέλεσμα, τα χρονοδιαγράμματα προμηθειών δεν μπορούν να αντιμετωπίζονται σαν συνήθεις αγορές υλικού.
Η συνολική διάρκεια από την αρχική απαίτηση πεδίου εφαρμογής έως την εκτέλεση γκοφρετών που πληρούν τις προϋποθέσεις εκτείνεται από 6 έως 12 εβδομάδες για τυποποιημένα συστήματα άμεσης-εγγραφής ή{3}}στοκ ευθυγραμμιστές μάσκας, έως και 26 έως 52+ εβδομάδες για εξαιρετικά προσαρμοσμένα stepper προβολής και αυτοματοποιημένο σαρωτή παραγωγής υψηλής{{6} ροής.
Η κατανόηση του ρεαλιστικού χρονοδιαγράμματος-και η αναγνώριση των βασικών μεταβλητών που οδηγούν στην παράδοση του εξοπλισμού και τη θέση σε λειτουργία καθαρού χώρου-επιτρέπει στις ομάδες μηχανικών να συντονίσουν την ετοιμότητα της εγκατάστασης, να συγχρονίσουν την προμήθεια φωτοανθεκτικών και χημικών και να αποτρέψουν δαπανηρές καθυστερήσεις στα ορόσημα ανάπτυξης της συσκευής τους.
2. Το τυπικό χρονοδιάγραμμα για την αγορά μιας φωτολιθογραφικής μηχανής
Ένα έργο προμήθειας μηχανής φωτολιθογραφίας εξελίσσεται σε έξι καλά καθορισμένες-φάσεις λειτουργίας:
Φάση 1: Επιβεβαίωση απαίτησης διαδικασίας (Εβδομάδες 1 έως 2)
Πριν ζητήσει επίσημες εμπορικές προτάσεις, η ομάδα μηχανικής διαδικασίας του αγοραστή ορίζει τεχνικά βασικά κριτήρια:
• Μέγεθος και γεωμετρία υποστρώματος (π.χ. γκοφρέτες 2 ιντσών, 4 ιντσών, 6 ιντσών, 8 ιντσών ή τεμαχισμένες μήτρες 5 mm × 5 mm).
• Ανάλυση κρίσιμης διάστασης (CD) (π.χ. 0,5 μm, 1,0 μm ή 3,0 μm) και απαιτούμενο πάχος φιλμ φωτοανθεκτικού.
• Επιθυμητή στρώση-για-ακρίβεια επικάλυψης στρώσης (π.χ., μικρότερη ή ίση με ±0,25 μm Επάνω-Ευθυγράμμιση στο πλάι, ή μικρότερη ή ίση με ±1,0 μm στοίχιση στο πίσω μέρος υπέρυθρων).
• Ταξινόμηση περιβάλλοντος καθαρού δωματίου (ISO Class 5 / Class 100 ή ISO Class 6 / Class 1.000) και διαθέσιμα ελεύθερα όρια οροφής.
Φάση 2: Επιλογή εξοπλισμού και προκαταρκτική προσφορά (Εβδομάδες 2 έως 4)
Ο πελάτης προσελκύει υποψήφιους κατασκευαστές-όπως το DMJ Semiconductor-για να ελέγξουν τα μοντέλα μηχανών, να συγκρίνουν αρχιτεκτονικές ευθυγράμμισης που βασίζονται σε απευθείας-εγγραφή έναντι μάσκας{3}} χωρίς μάσκα και να αξιολογήσουν οπτικές διαμορφώσεις. Ο προμηθευτής δημιουργεί μια λεπτομερή τεχνική και εμπορική πρόταση που περιλαμβάνει τις βασικές τιμές των μηχανών, τα βασικά περιφερειακά ηλεκτρικής σκούπας/ψύκτη, τις άδειες λογισμικού και τους όρους εγγύησης.
Φάση 3: Τεχνική αξιολόγηση, επαλήθευση δείγματος και επιβεβαίωση παραγγελίας (Εβδομάδες 4 έως 8)
Για εφαρμογές υψηλής Μόλις επαληθευτούν οι στόχοι κρίσιμης διάστασης και τα προφίλ πλευρικών τοιχωμάτων με το Scanning Electron Microscopy (SEM), τα μέρη οριστικοποιούν τη σύμβαση αγοράς, ορίζουν ορόσημα πληρωμής (π.χ. 30% προκαταβολή, 40% FAT, 20% SAT, 10% διατήρηση) και εκδίδουν τη δεσμευτική εντολή αγοράς.
Φάση 4: Κατασκευή, συναρμολόγηση και αποδοχή από το εργοστάσιο (Εβδομάδες 8 έως 28+)
Ο κατασκευαστής εκτελεί τη συναρμολόγηση σταδίου, την οπτική ευθυγράμμιση, την καλωδίωση και την ενοποίηση συστήματος. Πριν από την αποστολή, ο εξοπλισμός υποβάλλεται σε Factory Acceptance Testing (FAT) στις εγκαταστάσεις του κατασκευαστή, επιβεβαιώνοντας την επίπεδη κίνηση της σκηνής, την απόκριση αυτόματης εστίασης, την ομοιομορφία του οπτικού φωτισμού και την ανάλυση σε γκοφρέτες αναφοράς.
Φάση 5: Κλουβί, διεθνής αποστολή και εκτελωνισμός (Εβδομάδες 2 έως 6, ανάλογα με τη λειτουργία logistics)
Το μηχάνημα αποσυναρμολογείται σε μονάδες μεταφοράς, σφραγίζεται με κενό-με συσκευασία φραγμού υγρασίας και δείκτες κραδασμών και φορτώνεται σε προσαρμοσμένα ξύλινα κιβώτια. Η μεταφορά πραγματοποιείται μέσω ελεγχόμενης θερμοκρασίας-ελεγχόμενης αεροπορικής μεταφοράς (διαμετακόμιση 3 έως 7 ημερών) ή αποκλειστικού θαλάσσιου φορτίου (διαμετακόμιση 20 έως 35 ημερών), ακολουθούμενη από εκτελωνισμό εισαγωγής και στάθμευση κλειστού χώρου αέρα.
Φάση 6: Εγκατάσταση, θέση σε λειτουργία και αποδοχή του Cleanroom (Εβδομάδες 1 έως 3)
Οι μηχανικοί επιτόπιων σέρβις αποκρυπτογραφούν το μηχάνημα, ισοπεδώνουν το πλαίσιο απομόνωσης κραδασμών, συνδέουν βοηθητικά προγράμματα, εκτελούν βαθμονόμηση οπτικής δέσμης, εκπαιδεύουν χειριστές καθαρού χώρου και εκτελούν Δοκιμή αποδοχής τοποθεσίας (SAT) σε γκοφρέτες παραγωγής πελατών.
Περίληψη έργου: Τα τυποποιημένα συστήματα λιθογραφίας χωρίς μάσκα συνήθως ολοκληρώνουν το ταξίδι από το τέλος έως το-τέλος σε 8 έως 16 εβδομάδες, ενώ τα εξειδικευμένα συστήματα αυτοματοποιημένης παραγωγής μεγάλου-όγκου απαιτούν 24 έως 40+ εβδομάδες.
3. Ποιοι παράγοντες επηρεάζουν τον χρόνο παράδοσης;
Οι χρόνοι παράδοσης ποικίλλουν πολύ μεταξύ των έργων. Πέντε βασικοί παράγοντες καθορίζουν πόσο γρήγορα μπορεί να κατασκευαστεί και να αποσταλεί ένα σύστημα φωτολιθογραφίας:
Διαθεσιμότητα εξοπλισμού:-Σε απόθεμα έναντι Κατασκευής-κατόπιν παραγγελίας:
• Τυπικά συστήματα αποθέματος ή επίδειξης: Οι προμηθευτές διατηρούν περιστασιακά τυπικά-πλαίσια βάσης διαμόρφωσης ή εργοστασιακές μονάδες επίδειξης που μπορούν να δοκιμαστούν, να συσκευαστούν και να αποσταλούν εντός 2 έως 6 εβδομάδων.
• Συστήματα-κατά παραγγελία: Τα συστήματα που κατασκευάζονται από την αρχή απαιτούν την προμήθεια μεγάλων-εξαρτημάτων μολύβδου-όπως οπτικούς αντικειμενικούς φακούς, βάσεις γρανίτη ακριβείας και γραμμικά στάδια κινητήρα-με αποτέλεσμα κύκλους κατασκευής 12 έως 24 εβδομάδων.
Επίπεδο οπτικής και μηχανικής προσαρμογής:
Οι τυπικές διαμορφώσεις καταλόγων αποστέλλονται πολύ πιο γρήγορα από τις προσαρμοσμένες πλατφόρμες. Τα αιτήματα προσαρμοσμένης μηχανικής που επιμηκύνουν τους χρόνους παράδοσης περιλαμβάνουν:
• Μονάδες λέιζερ διπλού μήκους κύματος
• Προσαρμοσμένα τσοκ πολλαπλών-ζωνών για εύθραυστα σύνθετα υποστρώματα (GaAs, GaN-σε-Si, InP ή γυάλινα πάνελ).
• Αυτοματοποιημένη κασέτα-σε-ρομπότ χειρισμού γκοφρέτας κασέτας (ενσωμάτωση EFEM / SMIF).
• Οπτικά ευθυγράμμισης υπέρυθρων (IR) πίσω πλευράς για MEMS μέσω-κατασκευής πυριτίου μέσω (TSV).
Κατασκευαστική ικανότητα και ανεκτέλεστο προμηθευτή:
Κατά τη διάρκεια περιόδων υψηλών κεφαλαιουχικών δαπανών ημιαγωγών, τα χυτήρια οπτικών εξαρτημάτων και οι υπεργολάβοι κατεργασίας ακριβείας αντιμετωπίζουν εκτεταμένες καθυστερήσεις. Προμηθευτές με ενσωματωμένη-συναρμολόγηση στο σπίτι και τοπικά αποθέματα εξαρτημάτων-όπως η DMJ Semiconductor-διατηρούν αυστηρότερο έλεγχο στα χρονοδιαγράμματα παράδοσης από τους μεσίτες εξοπλισμού τρίτων-.
Τρόπος αποστολής και παγκόσμιος προορισμός:
• Air Freight: Η προτιμώμενη μέθοδος για ευαίσθητα εργαλεία ημιαγωγών. Ο χρόνος διέλευσης είναι 3 έως 7 εργάσιμες ημέρες, με ελάχιστη θερμοκρασία και έκθεση σε κραδασμούς.
• Dedicated Sea Freight: Πιο οικονομικό για ογκώδη stepper παραγωγής, αλλά η διαμετακόμιση διαρκεί 20 έως 35 ημέρες, με επιπλέον χρόνο διακίνησης στο λιμάνι.
• Εξειδικευμένες μεταφορές εσωτερικών χερσαίων: Η μετακίνηση του εξοπλισμού υψηλής{{0}ακρίβειας από τους κόμβους φορτίου αεροδρομίων σε εγκαταστάσεις καθαρισμού απαιτεί αναρτημένα φορτηγά με αέρα-για την προστασία των οπτικών μετώπων κύματος από κραδασμούς στο δρόμο.
Εκτελωνισμός και Κανονιστική Συμμόρφωση:
Τα συστήματα έκθεσης ημιαγωγών είναι προϊόντα διπλής-χρήσης που παρακολουθούνται σε ορισμένες δικαιοδοσίες. Η εκ των προτέρων προετοιμασία ακριβών εμπορικών τιμολογίων, ταξινομήσεων κωδικών εμπορευμάτων HS, πιστοποιητικών ασφαλείας CE / SEMI S2 και αδειών εισαγωγής εμποδίζει τις τελωνειακές επιθεωρήσεις να καθυστερούν τις παραδόσεις στα λιμάνια εισόδου για εβδομάδες.
Ένας από αυτούς τους όρους είναι εάν υπάρχει ασφάλεια ή ασφάλεια για το δάνειο εάν ο δανειολήπτης δεν μπορεί να αποπληρώσει το δάνειο, ο δανειστής έχει το δικαίωμα να πάρει εξοπλισμό, περιουσία κ.λπ. από τον δανειολήπτη και να το πουλήσει για να πάρει τα χρήματά του πίσω. Αυτός ο εξοπλισμός ή το ακίνητο μπορεί να είναι ένα περιουσιακό στοιχείο που αγοράστηκε με το δάνειο.
4. Πόσος χρόνος διαρκεί η εγκατάσταση και η θέση σε λειτουργία;
Μόλις φτάσουν τα κιβώτια του μηχανήματος μέσα στην εγκατάσταση, πόσο καιρό πριν οι μηχανικοί διεργασιών μπορούν να εκθέσουν τις γκοφρέτες παραγωγής;
Κάτω από τη βέλτιστη προετοιμασία καθαρού δωματίου, η εγκατάσταση και η θέση σε λειτουργία για μια ευθυγράμμιση άμεσης-εγγραφής ή ακριβείας χρειάζονται 5 έως 10 εργάσιμες ημέρες. Για σύνθετα stepper μείωσης με αυτοματοποιημένα κομμάτια γκοφρέτας, η διαδικασία διαρκεί συνήθως 2 έως 4 εβδομάδες.
Η σειρά ανάθεσης ακολουθεί πέντε δομημένα στάδια:
Στάδιο 1: Εξάρθρωση, αποκρυπτογράφηση και συνδέσεις βοηθητικών προγραμμάτων εγκατάστασης (Ημέρες 1 έως 2)
Το μηχάνημα μετακινείται μέσα από τον αεραγωγό εξοπλισμού καθαρού δωματίου, αποσφραγίζεται από τη συσκευασία φραγμού και τοποθετείται στο καθορισμένο αποτύπωμα δαπέδου καθαρού δωματίου. Οι τεχνικοί συνδέουν μόνιμα βοηθητικά δωμάτια καθαρισμού:
• Καθαρός Ξηρός Αέρας (CDA): Ρυθμίζεται σε μεγαλύτερο ή ίσο με 0,6 MPa, σωματίδια-φιλτράρονται στα 0,01 μm και έχουν στεγνώσει σε σημείο δρόσου πίεσης Μικρότερο ή ίσο με -40 μοίρες .
• Κενό διεργασίας: Ελάχιστο -80 kPa για αξιόπιστη σύσφιξη τσοκ γκοφρέτας.
• Ηλεκτρική ισχύς: Αφιερωμένη, υπέρτατη-καταστολή τροφοδοσίας AC (μονοφασική-220V ή τριφασική-380V/480V) με απομονωμένη γείωση καθαρού χώρου (αντίσταση < 5 Ω).
• Ψυκτικό συγκρότημα διεργασίας / Εξάτμιση: Σύνδεση ψυκτών νερού κλειστού-βρόχου (σταθερότητα θερμοκρασίας ±0,1 βαθμός) και συνδέσεις εξάτμισης ατμών διαλύτη.
Στάδιο 2: Μηχανική ισοπέδωση και συντονισμός απομόνωσης κραδασμών (ημέρες 2 έως 3)
Οι μηχανικοί επιτόπου σέρβις ισοπεδώνουν τη βάση της μηχανής γρανίτη χρησιμοποιώντας ηλεκτρονικά κλισόμετρα ακριβείας (ακρίβεια Μικρότερη ή ίση με 0,02 mm/m). Οι απομονωτές παθητικού αέρα-με ελατήριο ή τα ενεργά πιεζοηλεκτρικά συστήματα ακύρωσης κραδασμών είναι υπό πίεση και ρυθμίζονται ώστε να απομονώνουν την οπτική κεφαλή από δονήσεις δαπέδου καθαρού δωματίου, πληρώντας τα κριτήρια VC-D ή VC-E.
Στάδιο 3: Ευθυγράμμιση οπτικής δέσμης και βαθμονόμηση συντεταγμένων σταδίου (ημέρες 3 έως 5)
Οι μηχανικοί ευθυγραμμίζουν την κεφαλή έκθεσης της διόδου λέιζερ, βαθμονομούν τους αισθητήρες οπτικής αυτόματης εστίασης και χαρτογραφούν την ορθογωνία διαδρομής σταδίου σε ολόκληρο το πεδίο ταξιδιού του πλακιδίου. Τα σχόλια από κωδικοποιητή πραγματικού χρόνου επαληθεύονται για να διασφαλιστεί η επαναληψιμότητα βημάτων-και-επανάληψης τοποθέτησης εντός ανοχών δευτερευόντων-μικρών.
Στάδιο 4: Διαδικασία πιστοποίησης και εμπειρική δοκιμή αποδοχής ιστότοπου (Ημέρες 5 έως 7)
Το μηχάνημα εκθέτει δοκιμαστικές γκοφρέτες επικαλυμμένες με φωτοανθεκτικό πελάτη. Οι μηχανικοί αναπτύσσουν τις γκοφρέτες και επαληθεύουν:
• Ανάλυση κρίσιμης διάστασης (CD) σε απομονωμένους και πυκνούς πίνακες διαστήματος-.
• Επάνω-πλευρική και πίσω όψη-προς-ακρίβεια επικάλυψης στρώσης (επιβεβαίωση προδιαγραφών μικρότερη ή ίση με ±0,25 μm έως ±0,5 μm).
• Ομοιομορφία συρραφής πεδίου έκθεσης σε πλατφόρμες άμεσης-εγγραφής.
Στάδιο 5: Hands-Εκπαίδευση χειριστή και συντήρησης (ημέρες 7 έως 10)
Οι χειριστές του Cleanroom λαμβάνουν δομημένες οδηγίες σχετικά με την εισαγωγή αρχείων CAD (GDSII, DXF, OASIS), τον προγραμματισμό συνταγών και τη βελτιστοποίηση μήτρας έκθεσης -οπτικής εστίασης (FEM). Το προσωπικό συντήρησης του Cleanroom εκπαιδεύεται στον καθαρισμό του τσοκ, στην παρακολούθηση ισχύος λέιζερ και στα προγράμματα προληπτικής συντήρησης.
5. Πώς να αποφύγετε τις καθυστερήσεις κατά την αγορά μιας μηχανής φωτολιθογραφίας
Για να βεβαιωθείτε ότι ο εξοπλισμός σας θα φτάσει εντός του χρονοδιαγράμματος και θα αρχίσει να λειτουργεί χωρίς δαπανηρές καθυστερήσεις, οι ομάδες καθαρισμού θα πρέπει να ακολουθήσουν πέντε προληπτικές στρατηγικές:
1. Οριστικοποιήστε έγκαιρα τις τεχνικές προδιαγραφές:
Αποφύγετε την αλλαγή των οπτικών παραμέτρων, των διαστάσεων του υποστρώματος ή των απαιτήσεων αυτοματισμού μετά την υπογραφή της σύμβασης κατασκευής. Οι εντολές αλλαγής μηχανικής (ECO) κατά τη μηχανική συναρμολόγηση εισάγουν σημαντικές κυρώσεις επανασχεδιασμού και χρόνου παράδοσης εξαρτημάτων.
2. Επαληθεύστε το απόθεμα του προμηθευτή και τους χρόνους παράδοσης εξαρτημάτων:
Πριν εκδώσετε μια εντολή αγοράς, ρωτήστε απευθείας τον πωλητή εάν τα συγκροτήματα πυρήνα (αντικειμενικοί φακοί, δίοδοι λέιζερ, στάδια κίνησης) βρίσκονται ήδη σε απόθεμα ή πρέπει να τα προμηθευτείτε από τρίτους. Διευκρινίστε εκ των προτέρων ρεαλιστικά χρονοδιαγράμματα παράδοσης.
3. Πλήρης ετοιμότητα εγκαταστάσεων καθαριότητας παράλληλα:
Μην περιμένετε να φτάσει ο εξοπλισμός πριν προετοιμάσετε τα βοηθητικά προγράμματα. Ολοκληρώστε τις γραμμές πτώσης, εγκαταστήστε ειδικά κυκλώματα γείωσης, επαληθεύστε τα σημεία δρόσου καθαρού ξηρού αέρα, ελέγξτε τα ανοίγματα της πόρτας και του ανελκυστήρα και επικυρώστε τα επίπεδα δόνησης δαπέδου ενώ ο εξοπλισμός συναρμολογείται στο εργοστάσιο.
4. Καθιερώστε ξεκάθαρα πρωτόκολλα αποστολής, εξάρτισης και τελωνειακών πρωτοκόλλων:
Συμφωνήστε με έμπειρους διαμεταφορείς ημιαγωγών που κατανοούν την παρακολούθηση κλιματικών-ελεγχόμενων αεροπορικών μεταφορών και καταγραφικών σοκ-. Εξασφαλίστε όλα τα τελωνειακά έγγραφα και τα πιστοποιητικά απαλλαγής από δασμούς πολύ πριν από την ημέρα αποστολής.
5. Διατηρήστε δομημένη επικοινωνία με τον προμηθευτή:
Πραγματοποιήστε δι-εβδομαδιαίο τεχνικό έλεγχο-με τον υπεύθυνο έργου του κατασκευαστή σας. Ελέγξτε τα ορόσημα κατασκευής, επιβεβαιώστε τις λίστες ελέγχου ετοιμότητας τοποθεσίας και προγραμματίστε τις επιτόπιες επισκέψεις για την πρόσβαση σε καθαρό δωμάτιο μηχανικού.
Το ύψος του δανειακού κεφαλαίου που έχει μια εταιρεία σε σχέση με το μετοχικό της κεφάλαιο είναι η μόχλευση της.
Μια εταιρεία με πολύ δανεισμό σε σχέση με το μετοχικό της κεφάλαιο έχει υψηλή μόχλευση. Μια εταιρεία που δυσκολεύεται να πραγματοποιήσει πληρωμές για το χρέος της είναι υπερβολικά μόχλευση.
6. Συμπέρασμα
Η απόκτηση μιας μηχανής φωτολιθογραφίας απαιτεί πειθαρχημένο συντονισμό σε θέματα μηχανικής διεργασιών, διαχείρισης εγκαταστάσεων και εφοδιαστικής προμηθευτή.
Ένα ρεαλιστικό παράθυρο προγραμματισμού προμηθειών μοιάζει με αυτό:
• Τυπικά συστήματα χωρίς μάσκα απευθείας-Write: 8 έως 14 εβδομάδες από την τοποθέτηση της παραγγελίας έως την κατάλληλη παραγωγή.
• Προσαρμοσμένα συστήματα-κατά παραγγελία-: 16 έως 26 εβδομάδες.
• Υψηλός-Βηματικοί σταθμοί παραγωγής/σαρωτές παραγωγής: 26 έως 52+ εβδομάδες.
• Θέση σε λειτουργία στο-Site Cleanroom: 5 έως 10 εργάσιμες ημέρες υπό την κατάλληλη ετοιμότητα εγκαταστάσεων.
Καθορίζοντας έγκαιρα κανόνες σχεδίασης διαδικασίας, προετοιμάζοντας βοηθητικά προγράμματα καθαρού δωματίου παράλληλα με τη συναρμολόγηση του εργοστασίου και διατηρώντας προληπτική επικοινωνία με τον κατασκευαστή του εξοπλισμού σας, οι ομάδες καθαρισμού μπορούν να αποτρέψουν απροσδόκητο χρόνο διακοπής λειτουργίας και να φέρουν νέες δυνατότητες μικροκατασκευής στο Διαδίκτυο στο χρονοδιάγραμμα.
Στη Nice-Tech (https://www.dmjsemi.com/), σχεδιάζουμε και κατασκευάζουμε-συστήματα άμεσης εγγραφής και οπτικής λιθογραφίας υψηλής ακρίβειας χωρίς μάσκες, σχεδιασμένα για ταχεία ανάπτυξη σε Ε&Α ημιαγωγών, πανεπιστημιακές αίθουσες καθαριότητας και χυτήρια MEMS. Η τυποποιημένη αρθρωτή αρχιτεκτονική μας επιτρέπει σημαντικά ταχύτερους κύκλους κατασκευής και θέσης σε λειτουργία σε σύγκριση με τις παλαιού τύπου stepper πλατφόρμες.
Σχεδιάζετε μια νέα εγκατάσταση λιθογραφικού εξοπλισμού για την εγκατάστασή σας;
Επικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικών εφαρμογών της Nice-σήμερα για να συζητήσετε τους χρόνους παράδοσης, να ελέγξετε τις απαιτήσεις εγκατάστασης καθαρού δωματίου και να λάβετε ένα ακριβές χρονοδιάγραμμα έργου προσαρμοσμένο στην αίτησή σας:
Ιστοσελίδα: https://www.dmjsemi.com/
Απευθείας Ερωτήσεις & Σχεδιασμός Έργων:
