Ο εξοπλισμός RTP υψηλής-οξείδωσης θερμοκρασίας είναι ένα βασικό θερμικό εργαλείο για-παραγωγή ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας-η κύρια δουλειά του είναι να δημιουργεί καθαρά, πυκνά φιλμ SiO2 σε υποστρώματα πυριτίου, ιδανικά για την κατασκευή συσκευών CMOS, IGBT και MEMS. Χρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών, στα ηλεκτρονικά νέας ενέργειας, στα ηλεκτρονικά εξαρτήματα υψηλών προδιαγραφών{{4}, ακόμη και στις ρυθμίσεις πανεπιστημίου/ερευνητικού εργαστηρίου για έρευνα και ανάπτυξη ημιαγωγών και πιλοτική παραγωγή.
Πώς να επιλέξετε το σωστό μοντέλο
Η επιλογή του σωστού εξαρτάται από τις ανάγκες και τις διαδικασίες παραγωγής σας-ακολουθεί μια απλή ανάλυση:
Μοντέλο 1. 12-ιντσών
Αν ασχολείστε με προηγμένη μαζική παραγωγή γκοφρετών-μεγάλου μεγέθους, αυτό είναι το μόνο. Μπορεί να χειριστεί περισσότερα από ή ίσα με 125 γκοφρέτες ανά σκάφος, επομένως είναι ιδανικό για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών πυρήνα μεγάλου-όγκου, μεγάλης-κλίμακας. Επιπλέον, προσφέρει ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας (±0,5 μοίρες) και μια σταθερή ζώνη θερμοκρασίας μεγαλύτερη ή ίση με 850 mm, διασφαλίζοντας σταθερό πάχος φιλμ (WIW/WTW/RTR Λιγότερο ή ίσο με ±2%) για κάθε παρτίδα.
Μοντέλο 2. 8-ιντσών
Αυτό έχει να κάνει με την ευελιξία. Λειτουργεί με πολλαπλές μεθόδους οξείδωσης-ξηρό οξυγόνο (Si) και υγρό οξυγόνο (ταχεία εξάτμιση/υδατόλουτρο/ανάφλεξη HO)-έτσι ώστε να καλύπτει τις περισσότερες κύριες ανάγκες μαζικής παραγωγής. Θερμοκρασία{4}}από 600-1150 μοίρες με ακρίβεια ελέγχου μικρότερη ή ίση με ±0,5 μοίρες και η ζώνη σταθερής θερμοκρασίας (300-860 mm) παρέχει αξιόπιστη ομοιομορφία φιλμ (WIW/WTW Λιγότερο ή ίσο με ±2%). Είναι προσαρμοσμένο για μαζική παραγωγή 8 ιντσών, επομένως η απόδοση παραμένει στο ίδιο επίπεδο με τις απαιτήσεις μεγάλης κλίμακας.
Για ποιον απευθύνεται και πού ταιριάζει
Μεγάλοι κατασκευαστές ημιαγωγών: Το μοντέλο των 12- ιντσών είναι το ιδανικό σας για να εξάγετε τσιπ CMOS, συσκευές ισχύος IGBT και άλλα βασικά εξαρτήματα σε μεγάλους όγκους.
Βασικές εταιρείες ηλεκτρονικών ειδών/νέας ενέργειας: Το μοντέλο 8-ιντσών λάμπει εδώ-είτε κατασκευάζετε ηλεκτρονικά είδη αυτοκινήτου, βασικά εξαρτήματα επικοινωνίας 5G, ηλεκτρονικά τσιπ ευρείας κατανάλωσης ή ημιαγωγούς ισχύος, η συμβατότητα πολλαπλών διεργασιών του διατηρεί την παραγωγή ομαλή.
Πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα: Το μοντέλο 8-ιντσών είναι τέλειο για δοκιμή νέων υλικών ημιαγωγών ή για την ανάπτυξη πρωτοτύπων συσκευών αιχμής. Προσαρμόζεται εύκολα σε διαφορετικές ρυθμίσεις Ε&Α, κάτι που είναι ένα μεγάλο πλεονέκτημα για εργαστηριακές εργασίες.
Μια γρήγορη σημείωση για την ποιότητα: Χρησιμοποιούμε επαγγελματικά υλικά και έξυπνη δομική σχεδίαση για τον θάλαμο, έτσι ώστε η καθαρότητα του φιλμ είναι εγγυημένη-χωρίς ανεπιθύμητες ακαθαρσίες να ανακατεύουν τα πράγματα. Και τα δύο μοντέλα υπερέχουν σε σταθερές διεργασίες, χάρη στον ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας και τη σταθερή ποιότητα φιλμ.
Ακόμα δεν είστε σίγουροι ποιο ταιριάζει καλύτερα; Επικοινωνήστε μαζί μας και θα σας βοηθήσουμε να βρείτε τον κατάλληλο εξοπλισμό για τη ροή εργασίας σας!
