Επισκόπηση προϊόντος

Η Nice-Tech προσφέρει δύο αποκλειστικά συστήματα χάραξης πυριτίου για διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτας, βασισμένα στην τεχνολογία ICP και προσαρμοσμένα για μαζική παραγωγή IC.

Σύστημα 12 ιντσών (SES-12)

Εστιάζει σε διεργασίες μπροστινού άκρου IC 12-ιντσών- (FEOL). Αποτελείται από θαλάμους εγχάραξης ICP και μια μονάδα μεταφοράς, καλύπτει την χάραξη πυριτίου, τη διηλεκτρική χάραξη, τη χάραξη πύλης, την εσοχή W και το SADP, σχεδιασμένο για μοτίβο υψηλής ακρίβειας συσκευών λογικής και μνήμης.

Σύστημα 8 ιντσών (SES-8)

Ένα σύστημα πολλών-θαλάμων για fabs 8-ιντσών, με επίκεντρο τις διαδικασίες πύλης. Εξασφαλίζει λιγότερο ή ίσο με 5% εντός-wafer και wafer-to-wafer ομοιομορφία χάραξης, εξαιρετικό έλεγχο σωματιδίων και υποστηρίζει AA, STI, spacer και W εσοχή.

Φόντα

Ευρεία κάλυψη διαδικασίας

Έχουμε δύο κύριες ρυθμίσεις εδώ. Το σύστημα 12 ιντσών αναλαμβάνει κάθε είδους διαδικασίες FEOL, χωρίς πρόβλημα. Όσο για το 8άρι; Επικεντρώνεται στην πύλη και τις σχετικές διαδικασίες και ταιριάζει απόλυτα με κόμβους 0,11μm και άνω.

Υψηλή Ακρίβεια & Σταθερότητα

Η ακρίβεια είναι εκεί που λάμπουν αυτά τα συστήματα. Το μοντέλο 12-ιντσών προσφέρει κορυφαία-ομοιομορφία και χαρακτική επιλεκτικότητα - ακριβώς αυτό που απαιτούν οι προηγμένες διαδικασίες. Η έκδοση 8 ιντσών έχει επίσης τη δική της: χαμηλή απόκλιση ομοιομορφίας, συν αυστηρός έλεγχος σωματιδίων, ώστε να μπορείτε να βασίζεστε σε σταθερά αποτελέσματα.

Μαζική-Παραγωγή και Κόστος-Αποτελεσματικότητα

Το καλύτερο από όλα είναι ότι και τα δύο είναι έτοιμα για μαζική παραγωγή. Η 12-ιντσών είναι κατασκευασμένη για γραμμές παραγωγής μεγάλης-κλίμακας, κάτι που είναι λογικό για εκτελέσεις μεγάλου-όγκου. Η 8 ιντσών, ωστόσο, είναι μια έξυπνη επιλογή εάν αναβαθμίζετε τη χωρητικότητα - εξοικονομεί χώρο και κόστος, κάτι που είναι πάντα ένα πλεονέκτημα για τις λειτουργίες.

Εφαρμογή

IC FEOL Κατασκευή

Σύστημα 12 ιντσών για διαδικασίες λογικής/μνήμης FEOL 12 ιντσών. Σύστημα 8 ιντσών για χάραξη πύλης 8 ιντσών.

Προηγμένες διαδικασίες

Το σύστημα 12 ιντσών υποστηρίζει εσοχή SADP/W. Το σύστημα 8 ιντσών λειτουργεί για διεργασίες STI/Spacer.

Αναβάθμιση χωρητικότητας

12-ιντσών ενσωματώνεται σε μεγάλα fabs. 8-ιντσών παρέχει οικονομική υποστήριξη για μεσαίου μεγέθους fabs.

Παράμετροι

Κατηγορία	Σύστημα χάραξης πυριτίου 12 ιντσών	Σύστημα χάραξης πυριτίου 8 ιντσών
Συμβατότητα με γκοφρέτα	Γκοφρέτες IC 12-ιντσών (300 mm), προσαρμοσμένες για γραμμές μαζικής παραγωγής	Γκοφρέτες IC 8 ιντσών. συμβατό με κόμβους 0,11μm και προηγμένης τεχνολογίας
Διαμόρφωση θαλάμου	Θάλαμοι χαρακτικής ICP + μονάδα μεταφοράς	Θάλαμοι χαρακτικής ICP + μονάδα μεταφοράς. σχεδιασμός πολλαπλών-θαλάμων για μαζική παραγωγή
Δυνατότητες βασικών διαδικασιών	Χαλκίδα πυριτίου, διηλεκτρική χάραξη, χάραξη πύλης, εσοχή W, SADP	Etch πύλης, AA, STI, αποστάτης, W εσοχή
Etch Uniformity	Ανώτερος έλεγχος ομοιομορφίας (ανταποκρίνεται στα προηγμένα πρότυπα ακρίβειας κόμβων)	Λιγότερο ή ίσο με 5% εντός-γκοφρέτας. Λιγότερο ή ίσο με 5% γκοφρέτα-προς-γκοφρέτα
Έλεγχος σωματιδίων	Αυστηρός έλεγχος σωματιδίων για υψηλή απόδοση προϊόντος	Εξαιρετικός έλεγχος σωματιδίων για σταθερή μαζική παραγωγή
Βιομηχανική Συμμόρφωση	Κατάλληλο για παραγωγή όγκου IC 12-ιντσών. συμμορφώνεται με τα πρότυπα μαζικής παραγωγής ημιαγωγών	Ανεξάρτητος βελτιστοποιημένος σχεδιασμός. ταιριάζει σε άριστο χώρο 8 ιντσών και απαιτήσεις κόστους για αναβάθμιση χωρητικότητας

FAQ

Ε: Ποια μεγέθη γκοφρέτας υποστηρίζουν τα δύο συστήματα;

A: Το σύστημα 12 ιντσών υποστηρίζει γκοφρέτες IC 12 ιντσών (300 mm) και το σύστημα 8 ιντσών υποστηρίζει πλακίδια IC 8 ιντσών.

Ε: Ποιες βασικές διαδικασίες καλύπτουν;

Α: Το σύστημα 12 ιντσών καλύπτει την χάραξη πυριτίου, τη διηλεκτρική χάραξη, το SADP, την εσοχή W κ.λπ. το σύστημα 8 ιντσών εστιάζει στην χάραξη πύλης και υποστηρίζει STI, αποστάτη κ.λπ.

Ε: Με ποιους κόμβους τεχνολογίας είναι συμβατοί;

Α: Το σύστημα 12 ιντσών προσαρμόζεται σε κόμβους προηγμένης τεχνολογίας. το σύστημα 8 ιντσών είναι συμβατό με προηγμένους κόμβους 0,11μm και άνω.

Ε: Είναι και τα δύο συστήματα κατάλληλα για μαζική παραγωγή;

Α: Ναι. Το σύστημα 12-ιντσών ταιριάζει σε γραμμές παραγωγής-μεγάλης κλίμακας, ενώ το σύστημα 8-ιντσών εξοικονομεί χώρο και είναι οικονομικά αποδοτικό για μαζική παραγωγή.

Ε: Ποια είναι η ομοιομορφία χάραξης του συστήματος 8 ιντσών;

Α: Έχει λιγότερο ή ίσο με 5% εντός-ομοιομορφίας γκοφρέτας και λιγότερο από ή ίσο με 5%-σε-ομοιομορφία γκοφρέτας.

Δημοφιλείς Ετικέτες: σύστημα χάραξης πυριτίου, Κίνα κατασκευαστές συστημάτων χάραξης πυριτίου, προμηθευτές