Επισκόπηση προϊόντος
Το RIE Etcher 12-ιντσών (Reactive Ion Etcher) είναι εξοπλισμός ξηρής χάραξης ακριβείας που αναπτύξαμε ανεξάρτητα-που είναι ειδικά προσαρμοσμένος για προηγμένη μικρο-νανοεπεξεργασία. Στον πυρήνα του, συνδυάζει βομβαρδισμό φυσικών ιόντων με μηχανισμούς χημικής αντίδρασης, ξεπερνώντας επιτέλους αυτό το δύσκολο σημείο συμφόρησης «ακριβείας-εξισορρόπησης ελέγχου» που μαστίζει εδώ και καιρό την παραδοσιακή τεχνολογία χάραξης. Διαθέτει εξαιρετική ικανότητα ανισότροπης χάραξης και εξαιρετικά-υψηλή επιλεκτικότητα υλικού, καθιστώντας το ένα βασικό εργαλείο διεργασίας για την κατασκευή ημιαγωγών, την ανάπτυξη MEMS και την παραγωγή οπτοηλεκτρονικών συσκευών. Είτε κάνετε εργαστηριακή έρευνα υψηλού επιπέδου είτε αυξάνετε τη βιομηχανική μαζική παραγωγή, αυτή η σειρά προσφέρει σταθερές, αξιόπιστες λύσεις διαδικασίας στις οποίες μπορείτε να βασιστείτε.
Εφαρμογές
- Κατασκευή ημιαγωγών: Το χρησιμοποιούμε για το μπροστινό-μοτίβο τρανζίστορ, το πίσω-χαρακτική TSV και την επεξεργασία υποστρώματος SOI-το σύνολο που πρέπει- να έχει για διαδικασίες συρρίκνωσης τσιπ.
- Ανάπτυξη συσκευής MEMS: Καρφώνει την ακριβή επεξεργασία μικρο-αισθητήρων, ενεργοποιητών και ρευστών τσιπ, χαράσσοντας αξιόπιστα τρισδιάστατες δομές (αναλογία διαστάσεων έως 20:1) σε πυρίτιο και πολυμερή.
- Οπτοηλεκτρονική βιομηχανία: Λειτουργεί για οπτικούς κυματοδηγούς, επιταξιακές γκοφρέτες LED, φωτοανιχνευτές-τον αυστηρό έλεγχο δομής αυξάνει την απόδοση φωτός.
- Έρευνα νανοτεχνολογίας: Σε συνδυασμό με την τεχνολογία ALE, κάνει ατομική-απομάκρυνση υλικού-υπερ αξιόπιστη για δισδιάστατα υλικά (γραφένιο, MoS2) και νανο-μοτίβα.
Φόντα
Εννοιολογική σχεδίαση σώματος-:
Foot-υπέροχο (αναφ. 1,0m* 1,0m)
Ομοιόμορφη κεντρική αντλία θαλάμου-κάτω:
Καλύτερη απόδοση της διαδικασίας
Η τροφοδοσία αερίου ντουζιέρας-μπορεί επίσης να διαμορφωθεί:
Συντονίζεται ως προκαθορισμένη παράμετρος ανάλογα
Το Gap εκκένωσης πλάσματος μπορεί να διαμορφωθεί:
Συντονίζεται ως προκαθορισμένη παράμετρος ανάλογα
Προαιρετικός προσανατολισμός κόστους ή απόδοσης:
RF, Αντλία, Τιμές κ.λπ. ανάλογα με τις απαιτήσεις
Προαιρετικός χειρισμός δειγμάτων:
Ανοίξτε το-Φόρτωση ή Φόρτωση-Κλείδωμα
Παράμετροι
|
Προσδιορισμός |
Παράμετροι |
|
Εύρος μεγέθους γκοφρέτας |
Γκοφρέτες 4,6,8,12 ιντσών ή πολλαπλών-προαιρετικών |
|
Υλικά χάραξης |
Si-Βάσει (Si/ SiO2/ SiNx/ SiC/ Χαλαζία κ.λπ.), Ενώσεις |
|
Κενό |
TMP & Μηχανική Αντλία |
|
Ισχύς RF |
Πλήρης εμβέλεια 300-1000W, προαιρετικό |
|
Σύστημα αερίου |
4 γραμμές (Τυπική) ή προσαρμοσμένη |
|
Ψύξη γκοφρέτας |
Water Cooling ή He Backside Cooling προαιρετικά |
|
Στάδιο γκοφρέτας |
Από -70 μοίρες έως 200 μοίρες, προαιρετικά |
|
Μη-Ομοιομορφία |
Λιγότερο από ± 5% (Εξαίρεση άκρων) |
FAQ
Τι είδη υλικών μπορεί να επεξεργαστεί το RIE Etcher 12 ιντσών;
Καλύπτει υλικά με βάση το Si-, σύνθετους ημιαγωγούς, υλικά 1D&2D, μέταλλα κ.λπ., ενώ υποστηρίζει επίσης την ανάλυση αστοχιών σχετικών υλικών.
Ποια μεγέθη γκοφρέτας υποστηρίζονται;
Συμβατό με γκοφρέτες 4/6/8/12-ιντσών και επεξεργασία πολλαπλών πλακιδίων, με προσαρμοσμένες λύσεις διαθέσιμες για ειδικά μεγέθη.
Ποια είναι η ομοιομορφία χάραξης;
Η μη-ομοιομορφία είναι<±5% after edge exclusion, ensuring full-wafer processing consistency.
Ποιο είναι το εύρος θερμοκρασίας του σταδίου γκοφρέτας;
Προαιρετικά -70 μοίρες έως 200 μοίρες , ικανοποιώντας τις απαιτήσεις των διαδικασιών χαρακτικής από χαμηλή-θερμοκρασία έως υψηλή θερμοκρασία.
Πόσες γραμμές αερίου υπάρχουν στην τυπική διαμόρφωση και μπορεί να προσαρμοστεί;
Η τυπική διαμόρφωση περιλαμβάνει 4 γραμμές αερίου, οι οποίες μπορούν να προσαρμοστούν και να επεκταθούν σύμφωνα με τις σύνθετες ανάγκες της διαδικασίας.
Ποιο είναι το εύρος ισχύος RF;
Καλύπτει μια πλήρη γκάμα 300-1000W, επιλέξιμη κατά παραγγελία.
Ποιες είναι οι μέθοδοι χειρισμού δειγμάτων;
Παρέχει δύο επιλογές: Open-Load and Load-Lock, προσαρμογή σε διαφορετικές ανάγκες απόδοσης παραγωγής και περιβαλλοντικού ελέγχου.
Τι σύστημα κενού είναι εξοπλισμένο;
Υιοθετεί έναν συνδυασμό στροβιλομοριακής αντλίας TMP και μηχανικής αντλίας για να εξασφαλίσει ένα σταθερό περιβάλλον κενού που απαιτείται για τη χάραξη.
Είναι βολική η συντήρηση του εξοπλισμού;
Ο ενσωματωμένος σχεδιασμός απλοποιεί την εσωτερική δομή, τα βασικά εξαρτήματα είναι εύκολο να συντηρηθούν, μειώνοντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας και τη δυσκολία συντήρησης.
Μπορεί να ρυθμιστεί το κενό εκφόρτισης πλάσματος;
Μπορεί να διαμορφωθεί και να προσαρμοστεί ως προκαθορισμένη παράμετρος σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας για να επιτευχθεί ακριβής έλεγχος χάραξης.
Υποστηρίζει επιλογές διαμόρφωσης με προσανατολισμό στο κόστος ή την απόδοση-;
Υποστηρίζει και τις δύο διαμορφώσεις. βασικά εξαρτήματα όπως τροφοδοτικό ραδιοσυχνοτήτων, αντλία και βαλβίδες μπορούν να επιλεγούν κατόπιν ζήτησης για εξισορρόπηση του κόστους ή βελτίωση της απόδοσης.
Μπορεί να προσαρμοστεί η μέθοδος ψύξης γκοφρέτας;
Υποστηρίζει δύο επιλογές: υδρόψυξη και ψύξη He backside, με προσαρμοσμένες λύσεις διαθέσιμες για ειδικές ανάγκες.
Δημοφιλείς Ετικέτες: rie echer 12-inch, China rie echer 12-inch κατασκευαστές, προμηθευτές
