Επισκόπηση προϊόντος
Εξοπλισμός RTP χαμηλής-Θερμοκρασίας: Προσφέρει εξαιρετικά ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας από 250 βαθμούς έως 500 μοίρες, αντιμετωπίζοντας αποτελεσματικά τη θερμική επεξεργασία υλικών όπως το νιοβικό λίθιο και το πυρίτιο.
Μπορεί να επεξεργαστεί γκοφρέτες 150 8-ιντσών ανά παρτίδα και μπορεί επίσης να χειριστεί γκοφρέτες 6 ιντσών. Εξαλείφει αποτελεσματικά τα ελαττώματα του πλέγματος, καθιστώντας το κατάλληλο τόσο για ερευνητικά πιλοτικά έργα όσο και για μαζική παραγωγή.
Ο αποτελεσματικός έλεγχος μόλυνσης σωματιδίων με χαμηλή-Θερμοκρασία RTP Equipment βελτιώνει σημαντικά την απόδοση της συσκευής, συμβάλλοντας σημαντικά στη σταθερή παραγωγή σε όλη την αλυσίδα της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Φόντα
1.Ο έλεγχος μεσαίας και χαμηλής θερμοκρασίας είναι εξαιρετικά ακριβής-μειώνει τα ελαττώματα της διεπαφής πλακιδίων πυριτίου σε μεγάλο βαθμό και διατηρεί σταθερή τη σταθερότητα και την ομοιομορφία της διαδικασίας.
2. Ο εξοπλισμός λειτουργεί αξιόπιστα, ικανοποιώντας πλήρως αυτές τις αυστηρές ανάγκες ακριβείας για την κατασκευή οπτικοηλεκτρονικών συσκευών.
3. Ο σχεδιασμός χωρητικότητας είναι-τοπικός, εξισορροπώντας την Ε&Α και τη μαζική παραγωγή. Αρκεί μια-παρτίδα έξοδος, ώστε να μπορείτε να κάνετε εναλλαγή μεταξύ των σταδίων παραγωγής χωρίς να αλλάξετε εξοπλισμό.
4. Με αποτελεσματικό καθαρισμό και σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας, αντιμετωπίζουμε τη μόλυνση από σωματίδια στην πηγή. Ενισχύει επίσης τη μόνωση της συσκευής και τη διαμόρφωση ελαφρού πεδίου, θέτοντας στέρεες βάσεις για υψηλή απόδοση.
Εφαρμογές
1. Κατασκευή συσκευών ημιαγωγών:
Λειτουργεί για τη δημιουργία ελαττωμάτων CMOS, IGBT και άλλων συσκευών-zaps πλέγματος διεπαφής πλακιδίων ακριβώς στο εύρος χαμηλής θερμοκρασίας 250 μοιρών -500 μοιρών. Ενισχύει τις ηλεκτρικές ιδιότητες του υλικού, κάνει τις συσκευές πιο αξιόπιστες, αυξάνει την απόδοση μαζικής παραγωγής και διατηρεί σταθερή την απόδοση της παρτίδας.
2. Κατασκευή οπτοηλεκτρονικών συσκευών:
Ταιριάζει σε VCSEL, φωτοανιχνευτές και παρόμοια προϊόντα. Μειώνει τις παρεμβολές σωματιδίων κατά τη διάρκεια της ανόπτησης, ώστε η ποιότητα της διεπαφής πλακιδίων πυριτίου να παραμένει σταθερή. Επίσης, βελτιώνει την πυκνότητα λεπτής μεμβράνης, τον περιορισμό του οπτικού πεδίου και την ηλεκτρική μόνωση-καθώς είναι συμβατό με νιοβικό λίθιο και άλλα υλικά, υποστηρίζοντας την παραγωγή ολοκληρωμένων οπτικών συσκευών.
3. Έρευνα και επικύρωση διαδικασίας:
Ιδανικό για πανεπιστήμια και εργαστήρια που εργάζονται σε αιχμής-όπως καρβίδιο του πυριτίου και κβαντικά τσιπ. Λυγίζει εύκολα μεταξύ μικρών-πειραμάτων παρτίδας και επεξεργασίας μεγάλης-κλίμακας, με ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας που διατηρεί σταθερές τις διαδικασίες. Βοηθά στην προσαρμογή των παραμέτρων της διαδικασίας και στις τεχνολογικές ανακαλύψεις.
Παράμετροι
|
Μέγεθος γκοφρέτας |
8 ιντσών (συμβατό με 6 ίντσες) |
|
Εύρος θερμοκρασίας |
250 μοίρες -500 μοίρες |
|
Επίπεδη ζώνη |
860χιλ |
|
Ικανότητα φόρτωσης |
150 γκοφρέτες/παρτίδα |
|
Εφαρμοσμένα Υλικά |
Νιοβικό λίθιο, πυρίτιο κ.λπ |
FAQ
Τι μεγέθη γκοφρέτας μπορεί να επεξεργαστεί αυτός ο Εξοπλισμός χαμηλής-Θερμοκρασίας RTP;
Χειρίζεται κυρίως γκοφρέτες 8-ιντσών, ενώ λειτουργούν και οι 6 ιντσών. Ιδανικό για την επεξεργασία μικρών και μεσαίων ημιαγωγών και οπτοηλεκτρονικών συσκευών.
Πώς είναι το εύρος και η ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας; Μπορεί να ανταποκριθεί στις απαιτήσεις των διαδικασιών χαμηλής- θερμοκρασίας;
Η θερμοκρασία κυμαίνεται από 250 βαθμούς έως 500 βαθμούς και ο έλεγχος είναι εξαιρετικά ακριβής. Η ζώνη σταθερής θερμοκρασίας έχει μήκος 860mm, επομένως ρυθμίζει με ακρίβεια το χαμηλό-εύρος θερμοκρασίας-ανταποκρίνεται πλήρως στις ανάγκες θερμικής επεξεργασίας χαμηλής- θερμοκρασίας των ημιαγωγών και των οπτοηλεκτρονικών συσκευών!
Ποιος είναι ο μέγιστος αριθμός γκοφρετών που μπορούν να υποστούν επεξεργασία ανά παρτίδα; Μπορεί να χρησιμοποιηθεί τόσο για έρευνα όσο και για μαζική παραγωγή;
150 γκοφρέτες ανά παρτίδα. Αυτό αρκεί για μικρά-πειράματα παρτίδας σε πανεπιστήμια και εργαστήρια, και συμβαδίζει επίσης με τις ανάγκες αποδοτικότητας της μαζικής παραγωγής επιχειρήσεων-και για τις δύο πλευρές.
Τι υλικά μπορεί να επεξεργαστεί; Είναι συμβατό με κοινώς χρησιμοποιούμενες οπτοηλεκτρονικές συσκευές;
Μπορεί να επεξεργαστεί υλικά όπως το νιοβικό λίθιο και το πυρίτιο. Ιδανικό για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών όπως CMOS και IGBT, καθώς και οπτοηλεκτρονικών συσκευών όπως VCSEL. Καλύπτει όλες τις βασικές απαιτήσεις υλικού.
Τι εγγυάται τη σταθερότητα της διαδικασίας, όπως ο έλεγχος της μόλυνσης από σωματίδια;
Διαθέτει προηγμένο έλεγχο μόλυνσης σωματιδίων και αποτελεσματική τεχνολογία καθαρισμού για τη μείωση της παρεμβολής σωματιδίων κατά την επεξεργασία. Επίσης, ο έλεγχος θερμοκρασίας υψηλής ακρίβειας-διατηρεί ομοιόμορφες και σταθερές διαδικασίες όπως η οξείδωση και η ανόπτηση-δεν χρειάζεται να ανησυχείτε για την απόδοση του προϊόντος.
Δημοφιλείς Ετικέτες: Χαμηλές-εξοπλισμός rtp θερμοκρασίας, Κίνα κατασκευαστές εξοπλισμού χαμηλής-θερμοκρασίας rtp, προμηθευτές
