Επισκόπηση προϊόντος
Το σύστημα Nice{0}}Tech' 8-ICP-CVD 8 ιντσών έχει σχεδιαστεί για εναπόθεση λεπτών-μεμβρανών σε γκοφρέτες 8-ιντσών. Παράγει πλάσμα υψηλής πυκνότητας μέσω επαγωγικής σύζευξης (ICP) και δημιουργεί προκατάληψη μέσω χωρητικής σύζευξης (CCP), επιτρέποντας την εναπόθεση σε χαμηλή θερμοκρασία.
Συμβατό με τα πρότυπα SEMI, χρησιμοποιεί καθολικά εξαρτήματα fab 8 ιντσών και έχει περάσει αυστηρά τεστ σταθερότητας. Το σύστημα υποστηρίζει γκοφρέτες 8/6 ιντσών (μέσω προαιρετικών ηλεκτροδίων), προσαρμοσμένες σε μαζική παραγωγή και διαφορετικές ανάγκες διεργασίας.
Φόντα
Εναπόθεση χαμηλής-θερμοκρασίας και υψηλής-πυκνότητας
Αποθέτει φιλμ υψηλής-πυκνότητας στο<120°C, comparable to LPCVD films grown at 750°C, avoiding high-temperature damage to wafers.
Ανώτερη απόδοση ταινιών
Η πυκνότητα ρεύματος διαρροής ταιριάζει με τις προετοιμασμένες μεμβράνες με ALD-, διασφαλίζοντας την ηλεκτρική σταθερότητα και αξιοπιστία της συσκευής.
Υψηλή-αναλογία-γεμίσματος
Επιτρέπει την ομοιόμορφη πλήρωση βαθιών οπών/αυλακώσεων, επιλύοντας προβλήματα ανομοιόμορφης πλήρωσης σε πολύπλοκες κατασκευές.
Ευέλικτη συμβατότητα
Λειτουργεί με γκοφρέτες 8/6 ιντσών. Τα τυποποιημένα ανταλλακτικά μειώνουν το κόστος συντήρησης και διευκολύνουν την ενσωμάτωση με τις υπάρχουσες γραμμές.
Εφαρμογές
Εναπόθεση μονωτικής στρώσης
Για συσκευές λογικής/μνήμης 8 ιντσών (π.χ. DRAM, NAND). Αποθέτει μονωτικά στρώματα SiO2/SiN2 για να εξασφαλίσει αξιόπιστη ηλεκτρική μόνωση μεταξύ των εξαρτημάτων.
Υψηλή-Προβολή-Γέμισμα δομής αναλογίας
Εφαρμόζεται σε ημιαγωγούς ισχύος και MEMS. Γεμίζει βαθιές τάφρους/κοιλότητες με υψηλή ακρίβεια για ενίσχυση της δομικής ακεραιότητας της συσκευής.
Προηγμένη εναπόθεση συσκευασίας
Χρησιμοποιείται σε συσκευασία σε επίπεδο γκοφρέτας 8- ιντσών (WLCSP, SiP). Αποθέτει μονωτικές/προστατευτικές μεμβράνες για την ενίσχυση της αξιοπιστίας της συσκευασίας.
Ειδική Λειτουργική Προετοιμασία Ταινιών
Προετοιμάζει ειδικά λειτουργικά φιλμ: Αντι-αντιανακλαστικές επικαλύψεις για φωτοανιχνευτές (ενίσχυση της απορρόφησης φωτός) και διηλεκτρικές μεμβράνες χαμηλής-απώλειας για συσκευές ραδιοσυχνοτήτων (διασφάλιση ακεραιότητας σήματος).
Παράμετροι
|
Κατηγορία |
Σύστημα ICP-CVD 8-ιντσών |
|
Συμβατότητα γκοφρέτας |
8 ιντσών (κύριος) 6 ιντσών (προαιρετικό, μέσω συμβατών ηλεκτροδίων) |
|
Θερμοκρασία εναπόθεσης |
Λιγότερο ή ίσο με 120 μοίρες (διαδικασία χαμηλής- θερμοκρασίας) |
|
Γενιά πλάσματος |
Επαγωγικό πλάσμα ζεύξης (ICP) + Πλάσμα χωρητικής ζεύξης (CCP) |
|
Πυκνότητα φιλμ |
Συγκρίσιμο με ταινίες LPCVD που αναπτύσσονται στους 750 βαθμούς |
|
Ρεύμα διαρροής φιλμ |
Ισοδύναμο με φιλμ που παρασκευάζονται με εναπόθεση ατομικού στρώματος (ALD) |
|
Υψηλή-Απόσταση-Χωρητικότητα πλήρωσης |
Ομοιόμορφο γέμισμα για βαθιές οπές/αυλακώσεις (κατάλληλο για προηγμένες δομές ημιαγωγών) |
|
Κατάθεση Υλικών |
SiO2, SiN2 και άλλες λειτουργικές μεμβράνες (προσαρμόσιμες με βάση τις ανάγκες της διαδικασίας) |
|
Επιμελητήριο Διαδικασιών |
Σχεδιασμός υψηλής-κενού (εξασφαλίζει καθαρή σύνθεση φιλμ και σταθερή εναπόθεση) |
|
Συμμόρφωση του κλάδου |
Συμβατό με τα πρότυπα SEMI. συμβατό με γραμμές παραγωγής γκοφρέτας fab 8 ιντσών |
|
Βασικά εξαρτήματα |
Ανταλλακτικά διεθνών προτύπων (μειώνει τη δυσκολία και το κόστος συντήρησης) |
FAQ
Ε: Ποια μεγέθη γκοφρέτας υποστηρίζει το σύστημα;
Α: 8 ιντσών (κύριο) και 6 ιντσών (προαιρετικά μέσω συμβατών ηλεκτροδίων).
Ε: Ποια είναι η μέγιστη θερμοκρασία εναπόθεσης;
Α: Λιγότερο ή ίσο με 120 μοίρες (διαδικασία χαμηλής-θερμοκρασίας για την αποφυγή ζημιάς στο πλακίδιο).
Ε: Μπορεί να γεμίσει δομές υψηλών-αναλογιών-;
Α: Ναι, επιτρέπει την ομοιόμορφη πλήρωση βαθιών οπών/αυλακώσεων.
Ε: Είναι το σύστημα συμβατό με τα πρότυπα του κλάδου;
A: Πλήρως συμβατό με τα πρότυπα SEMI, εύκολο στην ενσωμάτωση με υπάρχοντα fabs 8 ιντσών.
Δημοφιλείς Ετικέτες: icp-cvd system, Κίνα icp-κατασκευαστές συστημάτων cvd, προμηθευτές
