Επισκόπηση προϊόντος
Το πολυλειτουργικό εμφύτευμα ιόντων Customized Solution είναι μια προσαρμοσμένη-πλατφόρμα εμφύτευσης ιόντων. Με στόχο ερευνητικά ινστιτούτα, πανεπιστήμια και μικρές-παρτίδες ειδικών-γραμμών παραγωγής ημιαγωγών διεργασίας, αυτός ο εξοπλισμός υποστηρίζει πηγές αέριων και στερεών ιόντων. Ο θάλαμος στόχος μπορεί να διαμορφωθεί με λειτουργίες εμφύτευσης υψηλής-και χαμηλής- θερμοκρασίας. Είναι ιδιαίτερα προσαρμόσιμο για τροποποίηση υλικού, προηγμένη-έρευνα υλικού, πιλοτική{10}}κατασκευή ημιαγωγών γραμμής και ειδική{11}}εμφύτευση δειγμάτων για ακανόνιστα υποστρώματα μικρού-μεγέθους. Η πλατφόρμα υποστηρίζει εξατομικευμένη προσαρμογή υλικού και λειτουργιών σύμφωνα με{14}}συγκεκριμένες απαιτήσεις της διαδικασίας του πελάτη.
Φόντα
Ιδιαίτερα προσαρμόσιμη αρχιτεκτονική: Ευέλικτη διαμόρφωση της πηγής ιόντων, του θαλάμου στόχου, του συγκρατητήρα πλακιδίων και των μονάδων γραμμής δέσμης-για να ανταποκρίνονται σε διάφορες μη-τυπικές απαιτήσεις διεργασίας. Για τον θάλαμο στόχο είναι διαθέσιμοι τόσο οι τρόποι εμφύτευσης υψηλής- θερμοκρασίας όσο και η κρυογονική εμφύτευση.
Συμβατότητα διπλής-λειτουργίας ιόντων-πηγών: Υποστηρίζει τη λειτουργία αέριων πηγών και στερεών πηγών, καλύπτοντας ένα ευρύ φάσμα ειδών ιόντων εμφύτευσης για την επιστήμη των υλικών και την έρευνα και ανάπτυξη ημιαγωγών.
Ευρεία προσαρμοστικότητα υποστρώματος: Λειτουργεί με τυπικές γκοφρέτες 4-/6 ιντσών καθώς και με ακανόνιστα μικρά κομμάτια, εξαλείφοντας τους περιορισμούς στον παράγοντα μορφής δείγματος για έρευνα εργαστηριακής κλίμακας.
Ευρύ εύρος ρύθμισης θερμοκρασιών-wafer: Υποστηρίζει θερμοκρασία διεργασίας από θερμοκρασία δωματίου έως 550 βαθμούς και ο προαιρετικός θάλαμος στόχος ψύξης μπορεί να διαμορφωθεί κατόπιν αιτήματος για πειράματα ευαίσθητων στη θερμοκρασία-υλικών.
Φιλικό προς τον χρήστη για σενάρια Ε&Α: Απλοποιημένη ρύθμιση συνταγής, βολικός εντοπισμός σφαλμάτων δέσμης-γραμμής και ευέλικτη έγχυση δέσμης ή μεμονωμένου-δείγματος,-κατάλληλη για ακαδημαϊκή έρευνα και πιλοτική παραγωγή μικρού-όγκου.
Εφαρμογές
Ακαδημαϊκή έρευνα και διδασκαλία: Πανεπιστημιακά εργαστήρια, ερευνητικά ινστιτούτα υλικού-επιστημονικά πειράματα
Τροποποίηση υλικού: Τροποποίηση ιόντων-με δέσμη μετάλλων, κεραμικών, πολυμερών και νέων λειτουργικών υλικών
Ειδική πιλοτική κατασκευή ημιαγωγών: Δοκιμαστική παραγωγή μικρής-παρτίδας-συσκευής ημιαγωγών
Προσαρμοσμένη ειδική εμφύτευση-διαδικασίας για ακανόνιστα μικρού-δείγματα
Παράμετροι
|
Είδος |
Προσδιορισμός |
|
Γκοφρέτα / Μέγεθος δείγματος |
Μικρά κομμάτια 6 ιντσών, 4 ιντσών ή ακανόνιστα |
|
Εύρος ενέργειας (Μία φόρτιση) |
30-200 keV |
|
Είδος Εμφυτεύματος |
P, B, As, Fe, H, He και άλλα προσαρμοσμένα ιόντα |
|
Θερμοκρασία γκοφρέτας διαδικασίας |
RT-550 βαθμός ; θάλαμος στόχου ψύξης προαιρετικός κατά παραγγελία |
FAQ
Ε: Για ποιους πελάτες απευθύνεται κυρίως η πολυλειτουργική εμφύτευση Customized Solution;
Α: Απευθύνεται σε πανεπιστήμια, ινστιτούτα επιστημονικής έρευνας και πιλοτικές γραμμές παραγωγής ημιαγωγών ειδικής διαδικασίας μικρής κλίμακας. Επικεντρώνεται στην Ε&Α και τη δοκιμαστική λειτουργία μικρής παρτίδας αντί για τη μαζική παραγωγή υψηλού όγκου βασικών τεχνητών IC.
Ε: Μπορεί αυτό το μηχάνημα να επεξεργαστεί μη τυπικά ακανόνιστα μικρά δείγματα;
Α: Ναι. Εκτός από τις τυπικές γκοφρέτες 4 ιντσών και 6 ιντσών, υποστηρίζει ακανόνιστα δείγματα μικρού μεγέθους. Οι θήκες δειγμάτων μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις διαστάσεις του δείγματος του πελάτη.
Ε: Ποιες επιλογές θερμοκρασίας είναι διαθέσιμες κατά την εμφύτευση;
Α: Η τυπική διαμόρφωση υποστηρίζει εμφύτευση RT 550 μοιρών σε υψηλή θερμοκρασία. Ένας θάλαμος στόχος ψύξης για διαδικασία χαμηλής θερμοκρασίας μπορεί να προστεθεί ως προσαρμοσμένη επιλογή.
Ε: Ποιες λειτουργίες πηγής ιόντων υποστηρίζει ο εξοπλισμός;
Α: Είναι συμβατό τόσο με πηγή αέριων ιόντων όσο και με πηγή στερεών ιόντων, καλύπτοντας B, P, As, Fe, H, He και άλλα είδη ιόντων. επιπλέον είδη ιόντων μπορούν να πραγματοποιηθούν μέσω προσαρμοσμένης τροποποίησης.
Ε: Μπορεί να συνεργαστεί με άλλους εμφυτευτές ποιότητας παραγωγής SEMICORE ZKX;
Α: Ναι. Μπορεί να λειτουργήσει μαζί με μεσαίου ρεύματος σειράς CIP, υψηλού ρεύματος σειράς CIC, εμφυτευτές υψηλής ενέργειας CIE 8000. Η προσαρμοσμένη πλατφόρμα μπορεί να χρησιμοποιηθεί για προ-έρευνα και εξερεύνηση συνταγών πριν από τη μαζική παραγωγή σε εξοπλισμό ποιότητας παραγωγής.
Ε: Ποιες υπηρεσίες μπορούν να ληφθούν για αυτήν την προσαρμοσμένη πλατφόρμα;
A: Το SEMICORE ZKX παρέχει προσαρμογή σχεδίου, εγκατάσταση και θέση σε λειτουργία εξοπλισμού, προμήθεια ανταλλακτικών, τεχνική υποστήριξη επιτόπου και υπηρεσία βοηθητικής εξερεύνησης διεργασιών για έργα που προσανατολίζονται στην έρευνα.
Δημοφιλείς Ετικέτες: εμφυτευτής ιόντων sic, Κίνα κατασκευαστές εμφυτευτών ιόντων sic, προμηθευτές
