Επισκόπηση προϊόντος
Το HII 100 είναι ένας εξειδικευμένος εμφυτευτής ιόντων H/He. Είναι σχεδιασμένο-για διεργασίες εμφύτευσης υδρογόνου και ιόντων ηλίου, ειδικά για τεχνολογία ηλεκτροστατικής-εμφύτευσης ευαίσθητου μονωτικού υλικού και τεχνολογίας διαχωρισμού στρώσεων-. Υιοθετώντας την αρχιτεκτονική εμφύτευσης κατά παρτίδες, ο εξοπλισμός υποστηρίζει εμφύτευση υψηλής-ενέργειας και υψηλής- δόσης. Είναι εξοπλισμένο με λειτουργία ντους πλάσματος διπλής-όψης για αποτελεσματική άμβλυνση της συσσώρευσης φορτίου και της ηλεκτροστατικής ζημιάς στις γκοφρέτες. Αυτό το εργαλείο εξυπηρετεί σύνθετες{11}}κατασκευές ημιαγωγών, ανύψωση υλικού SOI-απενεργοποίησης, τροποποίηση υλικού και σχετικές απαιτήσεις Ε&Α και πιλοτικής-παραγωγής για γκοφρέτες 4 ιντσών και 6 ιντσών.
Φόντα
1. Σύστημα ντους πλάσματος διπλής-όψης: Καταστέλλει αποτελεσματικά τις βλάβες από την ηλεκτροστατική φόρτιση, ιδιαίτερα κατάλληλο για εμφύτευση ηλεκτροστατικών-ευαίσθητων μονωτικών υποστρωμάτων.
2. Εμφύτευση παρτίδας υψηλής-ενέργειας και υψηλής- δόσης: Υποστηρίζει την επεξεργασία παρτίδων πλακιδίων με υψηλή μέγιστη ενέργεια και ικανότητα μεγάλης δόσης, βελτιώνοντας την απόδοση για τις διαδικασίες μεταφοράς και διαχωρισμού στρώσης-.
3. Βελτιστοποιημένο για εμφύτευση με κυρίαρχο H/He: Το σύστημα γραμμής δέσμης-συντονίζεται για ιόντα υδρογόνου και ηλίου. επίσης συμβατό με B, Ar και άλλα βοηθητικά είδη εμφυτευμάτων για διαφοροποιημένες απαιτήσεις διαδικασίας.
4. Ελεγχόμενη θερμοκρασία διεργασίας: Σταθερός έλεγχος θερμοκρασίας γκοφρέτας εντός βαθμών RT-200 για την κάλυψη των θερμικών περιορισμών ειδικών υλικών.
Στιβαρή σταθερότητα δέσμης: Η αξιόπιστη σχεδίαση πηγής ιόντων και μεταφοράς δέσμης εγγυώνται σταθερότητα μακράς-λειτουργίας για έρευνα υλικών και πιλοτική-παραγωγή όγκου.
Εφαρμογές
Ανύψωση υλικού-απενεργοποίηση / διαχωρισμός επιπέδων για SOI και παρόμοιες έξυπνες-τεχνολογίες κοπής
Εμφύτευση για μονωτικά και ηλεκτροστατικά-ευαίσθητα υλικά
Τροποποίηση σύνθετου υλικού-ημιαγωγού
Επιστημονική έρευνα, ανάπτυξη νέων-υλικών και πιλοτική παραγωγή
Παράμετροι
|
Είδος |
Προσδιορισμός |
|
Μέγεθος γκοφρέτας |
6 ιντσών, 4 ιντσών |
|
Εύρος ενέργειας (Μία-χρέωση) |
30-400 keV |
|
Είδος Εμφυτεύματος |
H, He, B, Ar |
|
Θερμοκρασία γκοφρέτας διαδικασίας |
RT-200 μοίρες |
FAQ
Ε: Ποιο είναι το βασικό χαρακτηριστικό του HII 100 σε σύγκριση με τα εμφυτεύματα γενικής χρήσης;
Α: Το κύριο χαρακτηριστικό του είναι η λειτουργία ντους πλάσματος διπλής όψης, η οποία επιλύει τους κινδύνους ηλεκτροστατικής βλάβης για τη μόνωση και την ευαίσθητη στο φορτίο γκοφρέτες. Είναι βελτιστοποιημένο για εμφύτευση παρτίδας H/He σε υψηλή δόση για διαδικασίες διαχωρισμού υλικού.
Ε: Για ποιες τυπικές διαδικασίες χρησιμοποιείται κυρίως το HII 100;
Α: Εφαρμόζεται ευρέως για διάσπαση στιβάδων που προκαλείται από H/He (Smart Cut), εμφύτευση ιόντων μονωτικού υλικού και τροποποίηση υλικού σύνθετων ημιαγωγών. Ταιριάζει τόσο σε έρευνα σε εργαστηριακή κλίμακα όσο και σε πιλοτική παραγωγή μικρής παρτίδας.
Ε: Ποια μεγέθη γκοφρέτας μπορεί να χειριστεί το HII 100;
Α: Τυπική υποστήριξη για γκοφρέτες 4 ιντσών και 6 ιντσών. Οι προσαρμοσμένες θήκες δειγμάτων μπορούν να ληφθούν υπόψη για ειδικά μικρά κομμάτια κατόπιν αιτήματος.
Ε: Μπορεί το HII 100 να εμφυτεύσει άλλα ιόντα εκτός από H και He;
Α: Ναι. Εκτός από τα H και He, υποστηρίζει τα B και Ar για βοηθητικές διαδικασίες εμφύτευσης.
Ε: Ποιο είναι το εύρος θερμοκρασίας εργασίας κατά την εμφύτευση;
Α: Η θερμοκρασία της γκοφρέτας διεργασίας κυμαίνεται από θερμοκρασία δωματίου έως 200 μοίρες, ταιριάζοντας με τις θερμοευαίσθητες απαιτήσεις υποστρώματος.
Ε: Μπορεί το HII 100 να συνεργαστεί με άλλους εμφυτευτές SEMICORE ZKX;
Α: Ναι. Μπορεί να συνεργαστεί με εξειδικευμένα εμφυτεύματα SiC, πολυλειτουργικά προσαρμοσμένα εμφυτεύματα και πλατφόρμες της σειράς CIP/CIC/CIE ποιότητας παραγωγής. Μπορεί να ολοκληρώσει την προκαταρκτική έρευνα συνταγών ειδικών υλικών πριν από τις δοκιμές μαζικής παραγωγής.
Ε: Ποιες υπηρεσίες μετά την πώληση είναι διαθέσιμες;
Α: Παρέχουμε προμήθεια ανταλλακτικών, εγκατάσταση και θέση σε λειτουργία επί τόπου, τακτική συντήρηση και τεχνική υποστήριξη για εντοπισμό σφαλμάτων συνταγών ειδικής διαδικασίας.
Δημοφιλείς Ετικέτες: Εμφυτευτής ιόντων h/he, Κίνα κατασκευαστές εμφυτευτών ιόντων h/he, προμηθευτές
