Ας είμαστε ρεαλιστικοί-η επιλογή ενός φούρνου ανόπτησης δεν είναι απλώς ο έλεγχος των πλαισίων. Έχει να κάνει με το να βρείτε κάτι που να ταιριάζει στη ροή εργασίας σας, είτε ασχολείστε με το εργαστήριο είτε βγάζετε γκοφρέτες 24/7. Έχουμε έξι μοντέλα RTP (Rapid Thermal Processing), το καθένα κατασκευασμένο για συγκεκριμένες εργασίες, οπότε ας δούμε πώς να μηδενίσουμε αυτό που πραγματικά λειτουργεί για εσάς-και όχι το αντίστροφο.
Πρώτον: Καταγράψτε τα βασικά που έχουν μεγαλύτερη σημασία
Πριν κολλήσετε στις προδιαγραφές, ξεκινήστε με τρεις απλές ερωτήσεις. Αυτά θα μειώσουν τον θόρυβο πιο γρήγορα από οτιδήποτε άλλο.
1. Πόσο βγάζετε και τι μέγεθος γκοφρέτες χρησιμοποιείτε;
Η παραγωγή και το μέγεθος της γκοφρέτας σας δεν είναι-διαπραγματεύσιμα-θα αποκλείσουν αμέσως μοντέλα που δεν μπορούν να συμβαδίσουν ή να χωρέσουν στα μέρη σας.
Για παράδειγμα:
Εάν είστε πανεπιστημιακό εργαστήριο που δοκιμάζει νέα υλικά με γκοφρέτες 4-ιντσών (και χρειάζεστε μόνο μια χούφτα την εβδομάδα), ο εξοπλισμός μας για επιτραπέζιους υπολογιστές RTP είναι τέλειος. Είναι μέγιστο στις 6 ίντσες και ταιριάζει σε έναν πάγκο εργασίας - δεν χρειάζεται γιγάντιο αποτύπωμα.
Εάν χρησιμοποιείτε γκοφρέτες 8{4}}ιντσών (ας πούμε, 500 έως 2.000 την εβδομάδα) για παραγωγή μεσαίου-όγκου, ο εξοπλισμός Semi-Automatic RTP έχει νόημα. Διαχειρίζεται 8–12 ίντσες και μειώνει τη χειρωνακτική εργασία χωρίς το κόστος πλήρους αυτοματισμού.
Για καταστήματα μεγάλου-όγκου (2,000+ γκοφρέτες την εβδομάδα, μέγεθος 12-ιντσών), θα χρειαστείτε τον εξοπλισμό Automatic RTP ή τον εξοπλισμό RTP με υψηλή-Οξείδωση θερμοκρασίας. Το Automatic λειτουργεί 24 ώρες το 24ωρο, 7 ώρες το 24ωρο με ρομπότ - χωρίς ανθρώπινο λάθος που επιβραδύνει τα πράγματα.
Είναι απλό: Μην αγοράζετε φούρνο με δυνατότητα 12-ιντσών εάν χρησιμοποιείτε μόνο γκοφρέτες 6 ιντσών. Θα σπαταλήσετε χώρο και χρήματα.
2. Τι ακριβώς προσπαθείτε να κάνετε;
Οι φούρνοι μας δεν είναι ένα-πόνι κόλπο-αλλά είναι βελτιστοποιημένοι για συγκεκριμένες εργασίες. Εάν θέλετε να αναπτύξετε φιλμ SiO2 για τσιπ CMOS, μην αρπάξετε ένα μοντέλο κατασκευασμένο για ανόπτηση χαμηλής-θερμότητας.
Εδώ είναι ο γρήγορος αγώνας:
Καλλιέργεια καθαρών, πυκνών μεμβρανών SiO2 (για IGBT ή MEMS); Χρησιμοποιήστε τον εξοπλισμό RTP υψηλής-Οξείδωσης θερμοκρασίας. Φτάνει στις ακριβείς θερμοκρασίες (600–1150 μοίρες ) και διατηρεί το οξυγόνο εξαιρετικά χαμηλό-κρίσιμο για την ποιότητα του φιλμ.
Χρειάζεστε εναλλαγή μεταξύ οξείδωσης, διάχυσης και ανόπτησης (όλα σε ένα μηχάνημα); Ο εξοπλισμός RTP οξείδωσης και διάχυσης είναι ο τύπος σας. Διαθέτει 1–4 σωλήνες διεργασίας, ώστε να μπορείτε να εκτελέσετε δύο εργασίες ταυτόχρονα, αν χρειαστεί.
Εργάζεστε με οπτοηλεκτρονικά (όπως τα VCSEL) που χρειάζονται χαμηλή-θερμική ανόπτηση (250–500 μοίρες); Ο εξοπλισμός RTP χαμηλής-Θερμοκρασίας είναι κατασκευασμένος για αυτό. Αποφεύγει την καύση ευαίσθητων υλικών και διατηρεί τα σωματίδια κάτω-για την οπτική απόδοση της συσκευής.
Χρειάζεστε απλώς βασική ανόπτηση (όπως αγγίγματα εμφύτευσης ιόντων-) για πρωτότυπα; Το Desktop RTP κάνει τη δουλειά χωρίς να περιπλέκει υπερβολικά τα πράγματα.
3. Με ποια υλικά εργάζεστε;
Δεν παίζουν όλοι οι φούρνοι όμορφα με κάθε υλικό.
Παραλείψτε τις εικασίες:
Πυρίτιο (για IC ή τυπικά IGBT); Τα περισσότερα μοντέλα λειτουργούν, αλλά ο εξοπλισμός RTP οξείδωσης και διάχυσης είναι εξαιρετικός εάν χρειάζεστε πολλαπλές διεργασίες.
Ευρύ-διάστημα ζώνης όπως SiC ή GaN (για μονάδες ισχύος EV); Ο εξοπλισμός RTP οξείδωσης και διάχυσης ανταποκρίνεται στις υψηλές-ανάγκες τους σε θερμότητα (400–1200 μοίρες ) ή στο RTP υψηλής-Θερμοκρασίας οξείδωσης εάν εστιάζετε σε ταινίες.
Νιοβικό λίθιο (για οπτοηλεκτρονική); Επιμείνετε στον εξοπλισμό RTP χαμηλής-Θερμοκρασίας. Το εύρος 250–500 μοιρών του δεν θα βλάψει το υλικό όπως θα έκανε ένα μοντέλο υψηλής- θερμότητας.
Επόμενο: Βυθιστείτε στις προδιαγραφές που επηρεάζουν πραγματικά την εργασία σας
Αφού έχετε τα βασικά, ήρθε η ώρα να ελέγξετε τις προδιαγραφές που θα κάνουν ή θα χαλάσουν τη διαδικασία σας. Μην κολλάτε σε κάθε αριθμό-εστιάστε σε αυτούς τους τρεις.
Έλεγχος θερμοκρασίας: Κάντε το σωστά, διαφορετικά τα εξαρτήματά σας θα υποφέρουν
Εάν η διαδικασία σας χρειάζεται αυστηρό έλεγχο θερμοκρασίας, μην κάνετε συμβιβασμούς. Για παράδειγμα:
Ο εξοπλισμός RTP χαμηλής-Θερμοκρασίας έχει μια επίπεδη ζώνη 860mm (αυτή είναι η περιοχή με σταθερή θερμότητα) - ιδανική για να βεβαιωθείτε ότι κάθε γκοφρέτα σε μια παρτίδα έχει την ίδια επεξεργασία.
Ο εξοπλισμός RTP Οξείδωσης Υψηλής{0}Θερμοκρασίας φθάνει σε ±0,5 μοίρες ακρίβεια{--μη διαπραγματεύσιμη εάν καλλιεργείτε φιλμ SiO2 όπου ακόμη και μια μικροσκοπική αλλαγή θερμοκρασίας καταστρέφει την ποιότητα.
Εάν κάνετε εναλλαγή μεταξύ χαμηλών και υψηλών θερμοκρασιών (ας πούμε, 500–1000 μοίρες ), τα Ημι-Αυτόματα ή Αυτόματα RTP έχουν διπλό έλεγχο: θερμοστοιχεία για χαμηλότερες θερμοκρασίες, πυρόμετρα για υψηλότερες. Δεν χρειάζονται χειροκίνητες ρυθμίσεις.
Αυτοματισμός: Πόση δουλειά θέλετε να κάνετε;
Ο αυτοματισμός δεν είναι απλώς "φανταχτερός"-αφορά τη συνέπεια και την ταχύτητα.
Εάν είστε εργαστήριο με ένα άτομο που χειρίζεται δείγματα, η χειροκίνητη φόρτωση (εξοπλισμός RTP για επιτραπέζιους υπολογιστές) είναι μια χαρά. Δεν θα χρειαστείτε ρομπότ για 10 γκοφρέτες την εβδομάδα.
Για μεσαία ένταση, η ημι{0}}αυτόματη πόρτα θαλάμου του ημιαυτόματου RTP εξοικονομεί χρόνο-φορτώνετε τη γκοφρέτα, πατάτε την εκκίνηση και η πόρτα ανοίγει/κλείνει μόνη της. Λιγότερο όρθιοι, λιγότερα λάθη.
Καταστήματα-μεγάλου όγκου; Τα ρομπότ του Automatic RTP χειρίζονται τη φόρτωση, την ευθυγράμμιση και την ψύξη-και συνδέεται με το σύστημα διαχείρισης παραγωγής σας. Έχει ακόμη και ποσοστό θραύσης γκοφρέτας κάτω από 1 στις 10.000. Αξίζει την επένδυση εάν η διακοπή λειτουργίας σας κοστίζει χρήματα.
Ατμόσφαιρα: Κρατήστε τις ακαθαρσίες μακριά (εάν χρειάζεται)
Εάν η διαδικασία σας είναι ευαίσθητη στο οξυγόνο (όπως το ντόπινγκ ημιαγωγών), μην το παραλείψετε.
Τα ημι{0}}αυτόματα και τα αυτόματα RTP διατηρούν το οξυγόνο κάτω από 1 ppm- εξαιρετικά καθαρό. Διαθέτουν επίσης 6 MFC (ελεγκτές μαζικής ροής) για να προσαρμόσετε τα μείγματα αερίων όπως ακριβώς χρειάζεστε.
Ο εξοπλισμός RTP του επιτραπέζιου υπολογιστή είναι λιγότερο από 3 σελ/λεπτό-αρκετά καλός για βασικές εργασίες, αλλά όχι για εξαιρετικά-καθαρές διαδικασίες.
Εάν κάνετε απλώς απλή οξείδωση, 3 ppm είναι μια χαρά. Εάν φτιάχνετε τσιπς όπου ακόμη και μια μικροσκοπική ακαθαρσία σκοτώνει την απόδοση, ανοίξτε το<1 ppm models.
Τέλος: Μην ξεχνάτε τα πρακτικά πράγματα
Ακόμη και ο καλύτερος φούρνος δεν θα λειτουργήσει αν δεν ταιριάζει στον χώρο ή τον προϋπολογισμό σας.
Διάστημα: Πρώτα μετρήστε, αγοράστε αργότερα
Εργαστήριο ή μικρό κατάστημα; Το RTP επιφάνειας εργασίας είναι 910mm×860mm×695mm-περίπου το μέγεθος ενός μεγάλου γραφείου.
Μεσαία εγκατάσταση; Το Semi{0}}Automatic RTP (μοντέλο 8-ιντσών) είναι 970 mm×1550 mm×2160 mm, αλλά θα χρειαστείτε ένα ειδικό σημείο.
Μεγάλο εργοστάσιο; Το μοντέλο διπλής κοιλότητας{0}}του Automatic RTP είναι 2100mm×2450mm×2200mm-βεβαιωθείτε ότι έχετε χώρο για να μετακινηθείτε γύρω από αυτό.
Ασφάλεια: Δεν είναι-Μη διαπραγματεύσιμη (αλλά σας έχουμε καλύψει)
Όλα τα μοντέλα μας πληρούν τα πρότυπα SEMI S2-τους βιομηχανικούς κανόνες για την ασφάλεια. Αλλά μερικά έχουν επιπλέον προνόμια:
Ο εξοπλισμός Automatic RTP έχει ένα-κουμπί διακοπής έκτακτης ανάγκης και σας ειδοποιεί για υπερθέρμανση ή διαρροές νερού-κρίσιμες για λειτουργία 24/7.
Ο εξοπλισμός Desktop RTP διαθέτει βομβητές και προειδοποιητικές λυχνίες-απλά, αλλά αποτελεσματικά για εργαστήρια όπου κάποιος μπορεί να κάνει ταχυδακτυλουργικά πολλές εργασίες.
Ακόμα κολλημένοι; Είμαστε εδώ για να βοηθήσουμε
Ας είμαστε ειλικρινείς-μερικές φορές χρειάζεται να το συζητήσετε. Εάν βρίσκεστε στο φράχτη (για παράδειγμα, επιλέγετε μεταξύ Ημι-Αυτόματος και Αυτόματος για αύξηση του όγκου), μπορούμε:
Περπατήστε στην τρέχουσα ροή εργασίας σας και πώς μπορείτε να κλιμακώσετε.
Δείξτε σας μια επίδειξη του πώς ένα μοντέλο θα χειριζόταν τη συγκεκριμένη διαδικασία.
Ακόμη και τροποποιήστε ένα μοντέλο (όπως η προσθήκη επιπλέον σωλήνων επεξεργασίας) για να ταιριάζει στις ανάγκες σας.
Δεν πουλάμε "ένα-μέγεθος-ταιριάζει-όλα"-πουλάμε φούρνους που λειτουργούν για τη δουλειά σας. Είτε δοκιμάζετε νέα υλικά είτε τρέχετε μια γραμμή παραγωγής, υπάρχει ένα μοντέλο που είναι κατάλληλο για εσάς.
Απλώς απευθυνθείτε στην ομάδα τεχνολογίας μας-θα σας βοηθήσουμε να το βρείτε.
