Επισκόπηση προϊόντος
Η Nice-Tech προσφέρει συστήματα RIBS 8 ιντσών και 12 ιντσών, τα οποία συνδυάζουν φυσική διασκορπισμό (από το παραδοσιακό IBS) με αντιδραστικά αέρια για ακριβή διαμόρφωση υλικού.
Κοινό σχέδιο:Η παραγωγή πλάσματος διαχωρίζεται από την περιοχή της γκοφρέτας για να αποφευχθεί η παρεμβολή μη-πτητικού υποπροϊόντος. Τόσο υποστηρίζουν ρυθμίσεις κλίσης/περιστροφής σταδίου και μονό/συστάδα θαλάμου.
Διαφορές:Η 12-ιντσών είναι προσαρμοσμένη για μαζική παραγωγή γκοφρέτας 12-ιντσών με πηγή ιόντων μεγάλης διαμέτρου. η 8 ιντσών είναι συμβατή με γκοφρέτες 8/6/4 ιντσών, ιδανική για μεσαία-μικρή παραγωγή και Ε&Α.
Φόντα
Κοινά Πλεονεκτήματα
- Αυξημένη απόδοση και ακρίβεια: Ο συνδυασμός φυσικής και χημείας αυξάνει τους ρυθμούς αφαίρεσης υλικού και την επιλεκτικότητα της μάσκας. Ο ανεξάρτητος έλεγχος της ενέργειας και της ροής δέσμης ιόντων εξασφαλίζει ευκρινείς, ακριβείς μορφολογίες σχεδίων.
- Ευέλικτη προσαρμοστικότητα διεργασίας: Η κλίση της σκηνής κυμαίνεται από -90 μοίρες έως +80 μοίρες για ακριβή συντονισμό της γωνίας του πλευρικού τοιχώματος. Η περιστρεφόμενη βάση ενισχύει την ομοιομορφία, ιδανική για την κατασκευή συσκευών ειδικού σχήματος.
- Ευρεία συμβατότητα υλικού: Λειτουργεί άψογα με μέταλλα, κράματα, οξείδια και σύνθετους ημιαγωγούς- αντιμετωπίζοντας ακόμη και τις πιο περίπλοκες προκλήσεις διαμόρφωσης υλικών.
Διαφοροποιημένα Πλεονεκτήματα
- 12-ίντσες: Διαθέτει πηγή παροχής ιόντων μεγάλης διαμέτρου<1% etch uniformity (1σ). Ideal for high-precision 12-inch advanced processes.
- 8 ιντσών: Προσφορές<3% uniformity in a compact, cost-effective design. Compatible with multi-size wafers, making it perfect for mature nodes and R&D projects.
Εφαρμογές
Κοινές Εφαρμογές
1. Ειδικές οπτικές δομές: Παρέχει λοξές και φλεγόμενες σχάρες-του κλάδου μας-την κορυφαία ικανότητα-για συστήματα οπτικών επικοινωνιών και τεχνολογίες λέιζερ.
2. Πολύπλοκες συσκευές ημιαγωγών: Μοτίβα πολλαπλών-μεταλλικών στοίβων και ετεροζεύξεων, που εγγυώνται αξιόπιστη απόδοση της συσκευής σε εφαρμογές υψηλής-ζήτησης.
3. Αισθητήρες υψηλής
Διαφοροποιημένες Εφαρμογές
1. 12-ίντσα: Ακρογωνιαίος λίθος για προηγμένες γραμμές παραγωγής 12-ιντσών - σκεφτείτε λειτουργικά στρώματα MRAM/PCRAM και τσιπ φωτονικής πυριτίου. Ενσωματώνεται απρόσκοπτα με τις υπάρχουσες ροές εργασιών κατασκευής 12 ιντσών.
2. 8-ίντσα: Ιδανικό για ώριμους κόμβους 8 ιντσών (Μεγαλύτερο ή ίσο με 0,11μm) και έργα Ε&Α, όπως μικροσκοπικοί οπτικοί αισθητήρες και εξειδικευμένα MEMS. Υποστηρίζει ευέλικτη εναλλαγή μεγέθους γκοφρέτας για να ταιριάζει σε διαφορετικές ανάγκες ανάπτυξης.
Παράμετροι
|
Κατηγορία |
Σύστημα RIBS 8 ιντσών |
Σύστημα RIBS 12 ιντσών |
|
Συμβατότητα με γκοφρέτα |
8 ιντσών (κύριος); 6 ιντσών/4 ιντσών (προαιρετικά, μέσω συμβατών ηλεκτροδίων) |
12 ιντσών (αποκλειστικά) |
|
Etch Uniformity (1σ) |
<3% (standard ion source configuration) |
<1% (large-diameter ion source as standard, for high-precision 12-inch wafer processing) |
|
Έλεγχος δέσμης ιόντων |
Ανεξάρτητη ρύθμιση της ενέργειας και της ροής δέσμης ιόντων (επιτρέπει τον ακριβή συντονισμό της κάτω γωνίας και της επιπεδότητας του σχεδίου) |
Ανεξάρτητη ρύθμιση της ενέργειας και της ροής δέσμης ιόντων (εξασφαλίζει ακριβή έλεγχο της προηγμένης μορφολογίας διεργασιών) |
|
Εύρος κλίσης σκηνής |
-90 μοίρες έως +80 μοίρες (πραγματοποιεί πρόσπτωση κεκλιμένης δέσμης ιόντων για έλεγχο της γωνίας του πλευρικού τοιχώματος) |
-90 μοίρες έως +80 μοίρες (υποστηρίζει κλίση πρόσπτωσης για την κάλυψη πολύπλοκων απαιτήσεων πλευρικού μοτίβου) |
|
Λειτουργία Σκηνικού |
Περιστρεφόμενο κατά τη διάρκεια της διεργασίας (ενισχύει την συμμετρία άξονα της διεργασίας και εντός της-ομοιομορφίας του πλακιδίου) |
Περιστρεφόμενο κατά τη διάρκεια της διαδικασίας (εγγυάται σταθερή ποιότητα επεξεργασίας σε μεγάλες γκοφρέτες 12 ιντσών) |
|
Περιβάλλον Διαδικασίας |
Περιβάλλον υψηλής-κενού (μειώνει τις παρεμβολές στο περιβάλλον, εξασφαλίζει σταθερή χημική αντίδραση και εκτόξευση) |
Περιβάλλον υψηλού-κενού (διατηρεί αξιόπιστη συνέργεια φυσικής εκτόξευσης και χημικών αντιδράσεων) |
|
Διαμόρφωση θαλάμου |
Διαμορφώσεις ενός-ενός θαλάμου ή συμπλέγματος (προαιρετικό, κατάλληλο για μικρή-μεσαία παραγωγή και Ε&Α) |
Δυνατότητα ενσωμάτωσης σε διάφορα συστήματα συμπλέγματος (συμβατό με προηγμένες γραμμές επεξεργασίας μεγάλης κλίμακας-12 ιντσών) |
|
Συμβατότητα υλικού |
Μέταλλα, κράματα, οξείδια, σύνθετοι ημιαγωγοί, μονωτές (λύνει πολύπλοκες προκλήσεις σχεδίασης υλικών) |
Μέταλλα, κράματα, οξείδια, σύνθετοι ημιαγωγοί και στοίβες πολλαπλών-στρώσεων (ανταποκρίνεται στις προηγμένες ανάγκες κατασκευής συσκευών) |
|
Βασικά σενάρια εφαρμογής |
Κόμβοι ώριμης διεργασίας 8- ιντσών (Μεγαλύτερο ή ίσο με 0,11μm), μίνι οπτικοί αισθητήρες, ειδική έρευνα και ανάπτυξη MEMS, παραγωγή σύνθετων εξαρτημάτων μικρής παρτίδας |
Προηγμένες διεργασίες 12-ιντσών (π.χ. λειτουργικά στρώματα MRAM/PCRAM), τσιπ φωτονικής πυριτίου, κατασκευή ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας μεγάλης- |
FAQ
Ε: Ποια είναι η βασική διαφορά μεταξύ των συστημάτων RIBS 8 ιντσών και 12 ιντσών;
Α: Οι 12-ίντσες στοχεύουν σε μαζική παραγωγή 12 ιντσών υψηλής-ακρίβειας. η 8 ιντσών ταιριάζει σε γκοφρέτες πολλαπλών μεγεθών (8/6/4 ιντσών) για ώριμους κόμβους και Ε&Α.
Ε: Ποια υλικά μπορούν να επεξεργαστούν;
Α: Και οι δύο χειρίζονται μέταλλα, κράματα, οξείδια, σύνθετους ημιαγωγούς και μονωτές.
Ε: Μπορούν να παράγουν ειδικές οπτικές δομές;
Α: Ναι, και τα δύο διαπρέπουν σε λοξές/φωτεινές σχάρες με κορυφαία ικανότητα-του κλάδου.
Ε: Είναι τα συστήματα συμβατά με τις υπάρχουσες γραμμές παραγωγής;
Α: Ναι, και οι δύο υποστηρίζουν διαμορφώσεις συμπλέγματος και συμμορφώνονται με τα πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών για εύκολη ενσωμάτωση.
Δημοφιλείς Ετικέτες: Σύστημα διαμόρφωσης αντίστροφης δοκού, Κίνα κατασκευαστές συστημάτων διαμόρφωσης αντίστροφης δοκού, προμηθευτές
